研究開発用真空蒸着装置金属を熱エネルギーで蒸発させ、蒸発した粒子をサンプルに付着させ成膜する真空蒸着装置です。

SEV-100

実験用に特化した電子銃と抵抗加熱の
2種類の蒸着源を搭載した蒸着装置

POINT

  • ベルジャー型の手動操作式蒸着装置
  • 基板のセットやシールド交換が容易
  • 2種類の蒸着源を持つ異色の蒸着装置

本体寸法

W1500mm×D500mm×H1550mm

蒸着源蒸着源操作複合化
電子銃抵抗加熱手動式×

概要・用途

 

実験用の小型蒸着装置です。

操作部と装置本体を一体化することにより、省スペースで設置することができます。成膜室や基板ホルダ形状、蒸着ソースについては、標準仕様以外にもお客様のニーズに合ったものを設計、製作することもできます。

 

特徴

【特徴1】蒸着源

蒸着源は2kw 3連電子銃1台と抵抗加熱ポートを1ケ搭載しており、同時使用も可能です。本来は2種類の蒸着装置を使いこなすべきところを1台でまかなえるため、様々な研究開発の蒸着ニーズに対応します。電子銃はルツボ数が3個で各容量は1mlの研究開発用途の製品を搭載しています。

 

【特徴2】有機EL蒸着

抵抗加熱方式による有機EL蒸着も可能で、蒸着源間のコンタミネーション防止のためにシールド版が設けております。

 

【特徴3】チャンバー内シールド

チャンバー内壁にもシールド版が設けてあり、容易に交換することができます。シールドの洗浄または再ブラスト処理も受け付けております。メンテナンス時にも装置を動かせるようシールドは予備用を購入されることを推奨しています。

 

SEV-100仕様表

 

SEV-100仕様表

 

SEV-100外観図

 

SEV-100外観図

 

修理・改造

弊社装置に関わる保守サービスは、北海道の本社及び静岡県の拠点から技術者を派遣して対応致します。また、改造・保守に関わる事前お打合せについては北海道と関東地区に駐在している営業担当者にて対応致します。
装置の導入後も安心して装置をご使用頂けるよう体制を整えております。

装置の御納入後の定められた保証期間内は、弊社が定める一定の条件(天災や誤った使用方法に起因する故障)に含まれない初期不良等の不具合に対しては無償による修理対応を行います。
詳細はお問い合わせください。

修理メンテナンスメニュー例

  • 装置の定期メンテナンス、不具合時のサービス対応。
  • 装置の改造や機能追加、それらに伴うプログラムソフトの変更。
  • 装置の移設、レイアウト変更。
  • オペレーショントレーニング。(ユーザー様の運用担当者の交代時など)
  • 消耗品の購入。
  • シールド部品に付着した膜の洗浄及び再ブラスト処理。
  • メール、お電話等で解決するご質問。

 

改造

装置の導入後でも、実験内容や使用条件の変更に伴う改造に関する業務を承ります。

【改造事例】

  • 各種の機能追加変更や部品交換。
  • 特殊形状用サンプルホルダーの製作。
  • プログラムの改良、アップデート。
  • ガス導入系の追加。
  • ロータリーポンプからドライポンプへの置き換え。
  • 補助ポンプの大型化。
  • 冷却水循環装置(チラー)の追加。
  • その他、ご要望に応じた改造、現地サービス。