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成膜後の膜質改善するアニール装置とは?原理や特徴を解説!

アニール装置は、基板への高温熱処理やガス置換、プラズマ処理加工が可能な装置です。スパッタ装置で成膜した後の膜質改善用途として非常に重要な役目を果たします。 今回は、菅製作所が製造するアニール装置2種類を解説していきます。 1946年に漁船用機器の修理業で創業した菅製作所では真空装置・真空機器

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