製品一覧

菅製作所では研究開発用途の真空装置、真空機器と漁船用の船舶用機器を扱っております。

研究開発支援機器

真空装置

光放出電子顕微鏡(PEEM)

紫外光などの照射に対してサンプルから放出される光電子を検出することで、表面の仕事関数を可視化する顕微鏡です。

MyPEEM

サンプル表面の電子状態(仕事関数)をリアルタイムで2次元マッピング

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スパッタ装置

Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット材料が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。

SSP1000

小型の卓上型スパッタ装置エントリーモデル、成膜方向を自在に変更可能

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SSP2000Plus

2元カソードのスリムタワー、拡張可能型

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SSP2500G

グローブボックス搭載の2元カソードモデル、オートマッチャー標準搭載

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SSP3000

3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%

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SSP3000Plus

3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%、拡張可能型

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ALD装置

原子層1層枚の均一なコントロールを行い、高膜質・段差被膜性の高い成膜が可能な、研究開発用の小型原子層堆積装置です。

SAL1000B

粉体・固形粒子への全周囲成膜を可能にした卓上型ALD

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SAL1000G

グローブボックス付きの卓上型ALD、粉体への成膜にも対応

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SAL3000

デポ方向、グローブボックス、ロードロック室の選択が可能

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SAL3000Plus

拡張可能型のALD、デポ方向選択可、基板加熱MAX800℃

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蒸着装置

熱源に設置した金属材料を蒸発させ基板へ成膜する真空蒸着装置です。

SEV-100

電子銃と抵抗加熱の2種類の蒸着原を搭載した蒸着装置

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SEV2000Plus

Plusシリーズ同士で拡張可能な蒸着装置、詳細はお問合せください

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アニール装置

基板への高温の熱処理、ガス置換、プラズマ処理による表面改質が可能です。

SAN2000Plus

MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

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トランスファーユニット

基板の受け渡しやロードロック機能を担う基板搬送アームです。

STR2000

PLUSシリーズ3台までと連結できる省スペースの自動基板搬送アーム

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加熱炉

石英の炉芯管内に設置したサンプルを加熱する雰囲気制御型加熱装置です。

SAF3000

炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応

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スペースチャンバー

宇宙環境の疑似再現や衛星部品の開発に使用できます。

スペースチャンバー

液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載

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その他装置

ウェットエッチング装置

SWE1000

スプレーによる噴霧で薬液・純水・窒素を導入、レシピ作成可能

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真空機器一覧

真空配管部品

真空装置、真空設備の構成に必要な配管部品を提供しております。

電磁ロータリーポンプバルブ

自社製造のアイソレーションバルブ、NW25とNW40に対応

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真空チャンバー

ステンレス、アルミどちらも製作可能です。詳細はお問合せください。

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JIS真空フランジ

自社で加工したJIS規格対応の真空フランジ、VG/VFがあります。

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真空継手

真空フランジにパイプや接手を溶接。特注品も製作します。

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船舶用機器

システム装置

船舶用クラッチ

エンジンの動力を発電機やポンプなどに伝達します。

MMC-電磁クラッチ

主にカウンターやポンプユニットに使用、エンジンの回転力をポンプなどへ伝達

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エアークラッチ

主に主機前駆動装置に使用、エンジンの回転力を発電機などへ伝達

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油圧クレーン

舶用向けに開発された油圧クレーンです。

シェルック

3種類のタイプがあり、ホタテ養殖船、牡蠣養殖船及び小型定置船に採用

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油圧漁労機

漁船の揚網作業向けの揚網機、ウィンチ等をご紹介します。

ホイスト

ボンブの巻取り部に最適、巻取り作業の効率UP

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桁曳き網用ウィンチ

主にナマコやホタテを海底から引き揚げる為に使用

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揚網機

揚網作業を省力化、鉄製、アルミ製、オーダーメイド品を製作可能

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コンポーネント

プーリ、プーリアダプタ

確かな動力伝達を約束致します。

標準型5Vプーリ

5V溝型Vプーリを標準品として在庫しており、短納期で納入可能

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プーリアダプタ

プーリとセットで使用、φ24~φ100の幅広いサイズに対応

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特殊プーリ

段付プーリおよび3V、5V、8V、A、B、C各種プーリに対応

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ドラム

各種揚縄に対応出来る豊富なラインナップを取り揃えております。

鼓ドラム

A~V型までの豊富なラインナップ、鋳物製、アルミ製どちらも製作可能

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合せドラム

φ250~φ800まで。FC250、FC300、FC3%Crで製作可能。詳細はお問合せください。

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バケツ型SUSドラム

漁網を巻き上げる為に使用。詳細はお問合せください。

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