真空機器一覧

コーティング加工は製品の機能性を高めたり、機能を長く保持させたりする役割を持っています。製品の外側・内側には多くのコーティング技術が使われています。そのなかの代表例が「蒸着」です。この記事では、スパッタ装置をはじめとする成膜装置を製作する菅製作所が、成膜の基本である「蒸着」の基本的

最近、クリーンで環境にやさしい再生可能エネルギーとして「太陽エネルギー」が注目を集めています。太陽エネルギーは人類が消費するエネルギー量の一万倍とも言われており、効率的に活用すれば現代社会が抱えるエネルギー問題を一挙に解決する可能性を秘めているのです。ですが、太陽エネルギー

薄膜を形成するには、いくつかの種類が存在します。今回はその中の一つ、「CVD（化学気相成長法）」の原理や種類について説明します。薄膜の種類「CVD（化学気相成長法）」薄膜を形成するには下図のようにいくつか種類があります。薄膜の作り方詳細蒸着法真空にし

薄膜を形成するには、いくつかの種類が存在します。今回はその中の一つ、「真空蒸着法」の原理と種類について説明します。最後には、身近な例を使い真空蒸着法についてわかりやすく解説しているので、参考になれば幸いです。薄膜の種類「真空蒸着法」薄膜を形成するには

「スパッタリングは専門用語が多すぎて難しい」「結局どの装置を選べば良いのかわからない」上記のようなお悩みは、スパッタ装置を検討する際によくある悩みだと思います。そこで本記事ではスパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」が、スパッタリングについてわかりやすく解説します

スパッタには多くの方式がありますが、今日はその中から「マグネトロンスパッタ」について紹介します。マグネトロンスパッタの原理やわかりやすい図解、成膜時のメリット・デメリットについても説明していきます。マグネトロンスパッタの原理マグネトロンスパッタは、2極法スパ

菅製作所の【Φ1mスペースチャンバー】の製品情報について航空宇宙産業は関連技術分野が広く、日本の技術が活きる産業です。その中でも超小型衛星の研究が進み、小型化や軽量化を図るための新素材、センサー、搭載機器などの開発技術がますます必要とされています。スペースチャンバーは衛星

光放出電子顕微鏡（MyPEEM）は、紫外光などの短波長の光を照射し、サンプルから放出される光電子を検出することで、サンプル表面の仕事関数をリアルタイムで可視化することができる顕微鏡です。主な用途として、薄膜の成長過程や触媒反応の動的過程の追跡など。ガスの吸着、脱離による表面

真空装置とは、真空の状態を利用した装置を指しており、目的に応じて真空システムを設定し作業をおこないます。昨今の産業の発展、そして様々な用途、研究においてなくてはならない装置の一つです。そこで、今回は真空装置を取り扱う菅製作所の真空装置8種類と、全17機をご紹介いたします。研

研究開発機器として幅広く使用されているスパッタ装置。スパッタ装置とは、イオン化させたArガスを高速でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット原子が基板に付着するスパッタリング現象を利用したPVD方式の薄膜形成装置です。そんなスパッタ装置ですが、手

アニール装置は、基板への高温熱処理やガス置換、プラズマ処理加工が可能な装置です。スパッタ装置で成膜した後の膜質改善用途として非常に重要な役目を果たします。今回は、菅製作所が製造するアニール装置2種類を解説していきます。 1946年に漁船用機器の修理業で創業した菅製作所では真空装置・真

スパッタ装置は、Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット材料が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。しかし、スパッタ装置と一言に言ってもいくつかの方式があります。今回は代表的な5つの方式をご紹介します。無電極誘導放電

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