真空装置一覧

菅製作所のYouTubeチャンネルにて、新作動画「真空ポンプの種類と選び方｜メリット・デメリットを徹底解説」を公開しました。真空をつくり出す上で欠かせない「真空ポンプ」ですが、その種類や到達できる真空度は大きく異なります。本動画では、大気圧から真空を作る「粗引きポンプ」から、さらに

菅製作所のYouTubeチャンネルにて、新作動画「スパッタ装置の電源の基本！これであなたもスパッタマスター」を公開しました。本動画では、スパッタ装置に欠かせない「電源」の役割と種類について、初心者の方にもわかりやすく解説しています。「DCとRFの違いは？」「どの材料にどの電源が適しているの

自社の半導体製造工程において、最適な真空装置が分からず悩んでいませんか？専門用語が多く、真空技術がなぜ半導体製造に必要なのか、具体的な関係性がイメージしづらいですよね。実は、最先端の半導体の性能を決定づけているのは「真空技術」であり、その役割を理解することが最適な装置選定へ

「真空装置の仕組みについて知りたい」「なんだか複雑でよくわからない・・・」そうお考えの方も多いのではないでしょうか。そこで今回は、長年真空装置開発に携わる「菅製作所」が、真空装置がどのような仕組みで成り立っているのかについて、詳しく解説します。合わせて、装置の心臓部

真空蒸着（Vacuum Deposition）は、現代のエレクトロニクス、光学部品、装飾品の製造において、非常に重要な薄膜形成技術の一つです。材料を加熱・蒸発させ、その分子や原子を基板（ターゲットとなる部品）に付着させて薄膜を作ります。この技術を支える真空蒸着装置は、どのよ

現代のエレクトロニクス、特に半導体製造の現場において、「真空」は欠かせない環境です。真空装置は、この特殊な空間を作り出し、維持することで、原子レベルの精密な加工や薄膜形成（成膜）を可能にしています。本記事では、「真空」の基本的な定義から、半導体製造に真空が必要な理由、真空装

菅製作所のYouTubeチャンネルにて、「酸化シリコン失敗成膜大公開！失敗から学ぶ原因と修正点」と題した新作技術解説動画を公開いたしました。本動画では、当社のスパッタリング装置による酸化シリコン（SiO₂）成膜プロセスにおいて、実際に発生した失敗事例を通じて、失敗の原因とそこから得られる教

この度、菅製作所のYouTubeチャンネルに、真空システムの安全を守る電磁ロータリーポンプバルブの解説動画を公開しました。高価な真空チャンバーや研究結果に悪影響を及ぼす「オイルバック」（ポンプの潤滑油逆流）現象。特に停電時には発生リスクが高まります。この動画では、当社の電磁ロータリ

酸化シリコン（SiO₂）成膜の“実際にかかる時間”を計測する「成膜タイムアタック」動画を公開しました。今回の動画では、当社製スパッタ装置「SSP1000キュービックスパッタ装置」を使用し、成膜開始から終了までの一連の流れをご紹介しています。チャンバーの真空引き、出力調整、成膜、ベント、基板取り出し

現代のデジタル社会を支える半導体デバイスの進化は、精密な薄膜技術によって推進されてきました。中でもALD（原子層堆積）は、原子レベルで膜を積み重ねる画期的な手法として、最先端デバイス製造に不可欠です。本記事では、この精密成膜技術がフィンランドでの誕生から、半導体産業への本格

「ALD（原子層堆積法）について調べているけれど、「プリカーサ」という言葉の意味がよくわからない…」「ALDで高品質な薄膜を作るために、プリカーサがなぜ重要なのか知りたい」もしあなたがそうお考えなら、この記事がその疑問にお答えします。 ALD装置の導入実績が豊富な菅製作所が、

現代社会を支える半導体デバイスは、さらなる高性能化と微細化が求められています。その中で、原子レベルで極めて精密な薄膜を形成するALD（原子層堆積法）は、半導体製造において非常に重要な技術として注目されています。ALD技術の真価を発揮するために不可欠なのが、「面内分布」という概念です。

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