真空装置一覧

しかし、大型装置を置くスペースがない。サンプルに本当に成膜できるか分からない。来期予算や科研費申請に向けて、まずは装置構成や概算を知りたい。大学・公的研究機関の研究室や、企業のR&D部門では、このようなお悩みを持つ方も少なくありません。 ALDは、原子層レベルで薄膜を

新しい研究テーマを立ち上げる際、成膜環境をどのように整えるかは大きな課題のひとつです。スパッタリング装置やALD装置を使いたい。できれば研究室内に占有できる装置を置きたい。しかし、予算や設置スペースには限りがある。大学の理工学系学部や公的研究機関では、こ

ALD（原子層堆積）装置で再現性の高い成膜を行い、安定して使い続けるためには、適切なメンテナンスが欠かせません。本記事では、ALD装置のメンテナンスに関するよくある質問をQ&A形式でわかりやすくまとめました。日常点検のポイントやトラブル時の原因切り分け方法など、実務

スパッタ装置を安定して使い続けるためには、適切なメンテナンスが欠かせません。本記事では、スパッタ装置のメンテナンスに関するよくある質問をQ&A形式でわかりやすくまとめました。日常点検のポイントやトラブル時の確認方法など、実務に役立つ内容を紹介しています。ぜひ参考にし

半導体製造はますます精密さが求められ、ほんのわずかな塵や水分が歩留まりを左右する繊細な工程です。その「高精度」な工程を実現するためにあるのが、真空チャンバーです。薄膜形成、エッチング、露光など、主要な半導体プロセスの多くは「真空環境がなければ成り立たない」と言われるほど、真

電子を加速させて気体分子を電離し、その電流から圧力を求める冷陰極電離真空計。機械的な構造が少なく、広い圧力範囲をカバーできる点で多くの研究現場や真空装置に利用されています。本記事では、冷陰極電離真空計の原理・構造・測定の仕組みをわかりやすく解説。さらに、扱う際の注意

真空技術の世界で広く使われている「熱陰極電離真空計」は、極めて高い真空度を正確に測定できる装置です。真空中のわずかなガス分子を検出するために、フィラメントを加熱して電子を放出し、ガスを電離させて圧力を算出するという独自の原理を持っています。本記事では、熱陰極電離真空計の仕組

真空装置を扱ううえで欠かせない「真空計」ですが、目盛りの読み方に迷う人も少なくありません。しかし、数値の小ささやマイナス表示、Pa（パスカル）などの単位の意味を正しく理解していないと、誤った判断に繋がる恐れもあります。本記事では、真空計の目盛りの読み方を基礎からわかりやすく

真空技術を扱う研究や製造の現場では、「どの真空計を使うか」が測定精度や作業効率を大きく左右する重要な要素です。本記事では、主な真空計の種類とそれぞれの原理、測定精度や耐久性を考慮した選び方のポイントまでわかりやすく解説します。「何を測るための真空計なのか」という目的を起点に

触媒は、化学反応の速度を高める「縁の下の力持ち」です。近年、原子層堆積法（ALD：Atomic Layer Deposition）が、触媒の性能向上技術として注目されています。ナノレベルでの膜形成が可能なALDは、触媒表面を精密に修飾し、反応活性の向上や被毒の抑制、長寿命化

原子層堆積法（ALD）は、原子レベルで薄膜を形成し、膜厚だけでなく表面の化学特性までも精密に制御できる革新的な技術です。特に、親水性・疎水性といった「濡れ性」のコントロールは、半導体、医療、光学分野などで性能や機能を左右する重要な要素です。本記事では、ALDによる親水性・疎水性の制

粉体への原子層堆積（ALD）技術は、粒子・粉体・多孔質媒体の表面を原子レベルで精密に改質する最先端のナノテクノロジーです。従来の乾式・湿式成膜法では克服できなかった複雑な表面形状への均一な被覆（コンフォーマル性）を実現し、エネルギー、触媒、医療といった分野のブレークスルーを可能にし

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