株式会社菅製作所研究開発支援機器や船舶用機器などの設計・製造・販売

新しい価値を
協働で創造します

どのような研究開発でも
一度ご相談ください。
管製作所が独自に培った技術力で
皆様の創造をアシストします。

テスト成膜サービス

おすすめ商品

Recommend products

  • スパッタ装置 <br />
SSP1000

    スパッタ装置
    SSP1000

    小型の卓上型スパッタ装置エントリーモデル、成膜方向を自在に変更可能

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  • ALD装置 <br />
SAL1000

    ALD装置
    SAL1000

    卓上型ALD装置エントリーモデル、手軽に1原子層ずつの薄膜をつくれる

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  • 放電プラズマ焼結装置(SPS)<br />
SPS2000

    放電プラズマ焼結装置(SPS)
    SPS2000

    経費を抑えて短時間で多様な実験をこなすことができる、大学や研究所でのR&Dに最適なエントリーモデルです。

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  • テスト成膜サービス

    テスト成膜サービス

    装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。

    PICKUP
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製品一覧

Products line up

ALD

原子層1層枚の均一なコントロールを行い、高膜質・段差被膜性の高い成膜が可能な、研究開発用の小型原子層堆積装置です。

ALD

スパッタ装置

Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、叩き出された材料が基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。

スパッタ装置

放電プラズマ焼結装置

SPS焼結法またはPECSとも呼ばれる高エネルギー密度加工を応用した、高性能・高品質焼結を可能とする新世代の材料合成装置です。

放電プラズマ焼結装置

光放出電子顕微鏡

紫外光などの照射に対してサンプルから放出される光電子を検出することで、表面の仕事関数を可視化する顕微鏡です。

光放出電子顕微鏡

真空機器

真空装置、真空設備の構成に必要な配管部品を提供しております。

真空機器

蒸着装置

熱源に設置した金属材料を蒸発させ基板へ成膜する真空蒸着装置です。

蒸着装置

アニール装置

基板への高温の熱処理、ガス置換が可能です。SAN2000Plusはプラズマ処理が可能です。

アニール装置

加熱炉

石英の炉芯管内に設置したサンプルを加熱する雰囲気制御型加熱装置です。

加熱炉

スペースチャンバー

宇宙環境の疑似再現や衛星部品の開発に使用できます。

スペースチャンバー

船舶用機器

エンジンの動力を発電機やポンプなどに伝達するクラッチ、船用向けに開発された油圧クレーン、揚網機、ウィンチ等。

船舶用機器

ALD

原子層1層枚の均一なコントロールを行い、高膜質・段差被膜性の高い成膜が可能な、研究開発用の小型原子層堆積装置です。
また、関連装置として成膜後の膜質改善用途に、アニール装置を紹介します。

SAL1000B

粉体・固形粒子への全周囲成膜を可能にした卓上型ALD

SAL1000G

グローブボックス付きの卓上型ALD、粉体への成膜にも対応

SAL1100

従来モデルSAL1000Bの最大5ccの資料容量に対し「より多いペレットや粉体試料を成膜したい!」というご要望を受けて誕生。1バッチ 160ccまで成膜可能。

SAL3000

デポ方向、グローブボックス、ロードロック室の選択が可能

SAL3000Plus

拡張可能型のALD、デポ方向選択可、基板加熱MAX800℃

SAN1000

基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能

SAN2000Plus

MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

スパッタ装置

Arイオンをプラズマ放電下でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット材料が対向する基板に付着するスパッタリング現象を利用した成膜装置です。
また、関連装置として成膜後の膜質改善用途に、アニール装置を紹介します。

SSP1000

小型の卓上型スパッタ装置エントリーモデル、成膜方向を自在に変更可能

SSP2000Plus

2元カソードのスリムタワー、拡張可能型

SSP2500G

グローブボックス搭載の2元カソードモデル、オートマッチャー標準搭載

SSP3000

3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%

SSP3000Plus

3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%、拡張可能型

SAN1000

基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能

SAN2000Plus

MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

放電プラズマ焼結装置

SPS2000

経費を抑えて短時間で多様な実験をこなすことができる、大学や研究所でのR&Dに最適なエントリーモデルです。

光放出電子顕微鏡

紫外光などの照射に対してサンプルから放出される光電子を検出することで、表面の仕事関数を可視化する顕微鏡です。

MyPEEM

サンプル表面の電子状態(仕事関数)をリアルタイムで2次元マッピング

真空機器

真空装置、真空設備の構成に必要な配管部品を提供しております。

電磁ロータリーポンプバルブ

自社製造のアイソレーションバルブ、NW25とNW40に対応

真空チャンバー

ステンレス、アルミどちらも製作可能です。詳細はお問合せください。

JIS真空フランジ

自社で加工したJIS規格対応の真空フランジ、VG/VFがあります。

真空継手

真空フランジにパイプや接手を溶接。特注品も製作します。

蒸着装置

熱源に設置した金属材料を蒸発させ基板へ成膜する真空蒸着装置です。

SEV2000Plus

金属膜又は酸化膜等を成膜することを目的とした真空蒸着装置です。

アニール装置

基板への高温の熱処理、ガス置換が可能です。SAN2000Plusはプラズマ処理が可能です。

SAN1000

基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能

SAN2000Plus

MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

加熱炉

石英の炉芯管内に設置したサンプルを加熱する雰囲気制御型加熱装置です。

SAF3000

炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応

スペースチャンバー

宇宙環境の疑似再現や衛星部品の開発に使用できます。

スペースチャンバー

液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載

船舶用機器

エンジンの動力を発電機やポンプなどに伝達します。

ホイスト

ボンブの巻取り部に最適、巻取り作業の効率UP

桁曳き網用ウィンチ

主にナマコやホタテを海底から引き揚げる為に使用

揚網機

揚網作業を省力化、鉄製、アルミ製、オーダーメイド品を製作可能

シェルック

3種類のタイプがあり、ホタテ養殖船、牡蠣養殖船及び小型定置船に採用

SUS揚網機

オールステンレス製でサビに強い

MMC-電磁クラッチ

主にカウンターやポンプユニットに使用、エンジンの回転力をポンプなどへ伝達

エアークラッチ

主に主機前駆動装置に使用、エンジンの回転力を発電機などへ伝達

会社概要

Company Profile

「協創」 顧客の独創性に立脚し、新しい価値を協働で創造する。

1946年に漁船用機器の修理業で創業、その後、漁船用船舶機器の製造販売を開始し、長年漁船向けの動力伝達用クラッチシステムを中心に、油圧機器、漁労機器などの船舶用機器を提供してまいりました。
これから先の未来も、製品・サービス・技術を通じて、多くのお客様のお役に立ちできる企業を目指し励んで参ります。

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