よくあるご質問

ALD装置について

ALD装置の価格帯は?

設置場所や仕様にもよりますが、700~5,000万円です。

ALD装置の納期は?

現時点でスパッタ装置は、受注後約6ヵ月となります。

金属膜のALD成膜もできますか?

社内実績はございません。

窒化膜のALD成膜もできますか?

社内実績はございません。

ALD装置の実績ある膜種を教えてください。

Al2O3, TiO2, HfO2, SiO2 の4種の酸化膜は、社内装置でのALD成膜実績があります。

ALD装置で対応できる膜厚はどれくらいですか?

30nm未満が一般的です。これ以上厚くも可能ですが、時間がかかってしまいます。

ALD装置のテスト成膜依頼することは可能でしょうか?

Al2O3, TiO2, HfO2, SiO2 の4種用のプリカーサは在庫ありますので対応可能です。
お問い合わせ願います。

スパッタ装置について

スパッタ装置で ITO透明導電膜も成膜できますか?

はい。可能です。
ITO成膜の場合ですと、Arのみの成膜では酸素欠損が起こる可能性があるので、オプションでO2ガスラインの追加をお勧めしています。

スパッタ装置で磁性体材料も成膜可能ですか?

カソードに組み込まれている磁石を磁性体成膜用の強い磁石に変更することで可能です。また、磁性体ターゲットを通常3tのところ1t等薄いターゲットを使用する必要があります。

スパッタ装置で成膜できないものはありますか?

水分が多く含まれるものは真空引きできないので成膜が難しいです。一度SSP1000で子供用おもちゃの積み木にアルミ成膜しようとしたことがありますが、一見乾燥しているように見えて内部の細胞に水分が含まれていたようで、全然成膜できなかった失敗経験があります。