概要・用途

電磁ロータリーポンプバルブは、不意の真空排気停止によるオイルバックを防止します。

停電や操作ミスにより油回転真空ポンプが停止すると、ポンプ油がオイルバック(ストロー現象による油の逆流上昇)してしまい、真空チャンバーや途中の配管を汚染します。

本バルブは、油回転真空ポンプの起動・停止と連動して開閉駆動し、ポンプが停止した瞬間に真空チャンバー側を真空維持するとともに、ポンプ側を自動で遅延大気ベントすることでオイルバックを防止します。油回転ポンプのみならずドライ真空ポンプにも設置することで、真空装置を不意のトラブルから防ぐことができます。

特徴

【特徴１】バルブ制御

油回転真空ポンプ(ロータリーポンプ)とバルブ電磁弁へ入力ラインを並列配線するだけで、個別のバルブ制御は不要です。ポンプの動作に連動して開閉します。

【特徴2】バルブの開閉

油回転真空ポンプ起動/停止に合わせ、真空力(差圧)を用いて自動でバルブが開/閉します。ノーマルクローズ構造で真空引きが始まると差圧で弁体が開きます。ポンプ停止時や停電時は弁体が差圧で閉まり真空装置側の配管は真空保持します。また、ストロー現象によるオイルバック(オイルの配管側への逆流)を防ぐため、ポンプ側は自動で電磁弁が開き大気ベントされます。

【特徴3】圧縮空気は不要

一般的に自動でバルブを動かすときは、開閉用に圧縮空気を用いますが、本バルブは差圧で開閉するだけなので、圧縮空気は必要としません。

【特徴4】アイソレーションバルブ

排気ラインの開閉に加え、閉時は油回転真空ポンプ側のみ大気ベントさせる機能を併せ持ちます。特徴2で記載したオイルバックを防ぐ効果があります。この機能をもつバルブを他社ではアイソレーションバルブ、アイソレイトバルブ、自動リークバルブ等と呼んでいますが全て同じ目的と機能の製品です。弊社ではNW25に加えNW40サイズもラインナップしており小型から中型の排気速度の真空ポンプに対応しております。

SV25R /SV40R仕様表

SV25R /SV40R外観図