卓上型スパッタ装置　SSP1000で窒化チタン(TiN)を成膜してみた

皆さん、“TiN（窒化チタン）”って聞いたことがあるでしょうか？ チタニウムナイトライドの略ですが、一般的にティーアイエヌとかチタンナイトライドと呼ばれています。 半導体では主にSiO2等の酸化膜層に直接Cuを成膜すると溶け込んでしまうので、バリア層としてTiNを間に成膜します。 それとは別に、今

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