菅製作所のALD装置を導入した事例紹介【北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センタ…

今回は、菅製作所のALD装置を導入している、北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 特任教授 工学博士 橋詰 保(はしづめ たもつ)氏にお話を伺いました。 橋詰特任教授は、ALD装置を「半導体デバイス」の研究に使うため研究センターに導入し、大学院学生との研究や企業との共同研

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