菅製作所のALD装置を導入した事例紹介【北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 橋詰保 特任教授】

菅製作所のALD装置を導入した事例紹介【北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター  橋詰保 特任教授】

今回は、菅製作所のALD装置を導入している、北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 特任教授 工学博士 橋詰 保(はしづめ たもつ)氏にお話を伺いました。

橋詰特任教授は、ALD装置を「半導体デバイス」の研究に使うため研究センターに導入し、大学院学生との研究や企業との共同研究に使用しています。

実際にALD装置を使い、他社との違い、導入したメリットの感想をいただいたので、 現在、装置導入を検討している研究者、または大学関係者の方がいれば、ぜひ参考にしてみてください。

ー北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 橋詰 特任教授のプロフィールー

はしづめ たもつ
橋詰 保

2004年 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター 教授。2014〜2020年同センター長。2016年よりクロスアポイント制度で名古屋大学 未来材料・システム研究所 教授としても従事。電子情報通信学会電子デバイス専門委員会・委員長、応用物理学会・北海道支部長を歴任。2016年応用物理学会優秀論文賞受賞、2018年応用物理学会フェロー受章。

――菅製作所のALD装置を導入するまでどんなことに困っていましたか?

国内産の装置が少なく、外国製の輸入品を使っていました。

しかし、外国製の装置は、故障頻度が高く、さらには修理時間が長くて研究に支障をきたしていました。

――菅製作所のALD装置を導入するきっかけはなんでしたか?

ALD装置を導入する以前に、菅製作所の別の装置を研究センターで使っていました。

ユーザー側の要望に真摯に対応してくれる会社であることを、よく知っていましたので、菅製作所のALD装置を導入することにしました。

――菅製作所のALD装置を導入した良さはありますか?

菅製作所のALD装置は動作が安定しているため、コンスタントに研究が進んでいる事が一番よかった点です。

また、部品が壊れたらすぐに対応してくれて、リーズナブルな時間で修理が終わります

あとは、研究開発の目的に応じて装置をカスタマイズしてくれるとこと。

研究者は、研究する目的に応じて装置に対する要望がでてくることがあります。

菅製作所は、使っている人の要望に柔軟に対応してくれます。非常にありがたいですね。

――ALD装置は将来私たちの生活のどんなことに役立つと思いますか?

ALD装置は、複雑な形状なものでも、均一にいろんな膜を作られることが特徴。

その点、表面をコーティングする技術の応用として使えるのではと思います。

例として、「義歯」はどうだろう。

義歯は、いろんな酸に犯されないためや、化学反応で劣化しないよう何層もコーティングされている物。

義歯を例えに、こういった表面を守るためにコーティングし、製品にする事で世の中のためになるのではと思いますけどね。

他にもいろんなところで活用できると思いますよ。

菅製作所のALD装置を紹介

今回、北海道大学エレクトロニクス研究センターに導入されたALD装置は、現在発売されている「SAL3000の前身となる装置」を導入しました。

菅製作所のALD装置を紹介
SAL3000

こちらの装置以外にも、菅製作所のALD装置は7種類あります。ALD装置の製品の詳細については下記をご覧ください。

ALD装置 製品一覧

まとめ

菅製作所の事例紹介として、実際に菅製作所のALD装置を使用した生の声を橋詰特任

教授から頂きました。

外国製品とは違い、故障しにくく、故障してもすぐに修理してもらえる

さらには、研究の目的によってカスタマイズの相談にも乗ってもらえる点が高評価でした。

購入後も製品に満足していただけるよう、菅製作所はお客様の様々なご要望にお答えしております。

製品の購入に悩んでいる方はぜひ、検討材料にしていただけたら幸いです。

さらに、菅製作所は札幌・静岡に支店を構えており、全国どこでも迅速に対応しています。

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この記事を書いた人

株式会社菅製作所

株式会社菅製作所

北海道北斗市で、スパッタ装置やALD装置等の成膜装置や光放出電子顕微鏡などの真空装置、放電プラズマ焼結(SPS)による材料合成装置、漁船向け船舶用機器を製造・販売しています。
また、汎用マイコン・汎用メモリへの書込みサービスも行っています。

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