今回は、菅製作所のALD装置を導入している、北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 特任教授 工学博士 橋詰 保(はしづめ たもつ)氏にお話を伺いました。

橋詰特任教授は、ALD装置を「半導体デバイス」の研究に使うため研究センターに導入し、大学院学生との研究や企業との共同研究に使用しています。

実際にALD装置を使い、他社との違い、導入したメリットの感想をいただいたので、 現在、装置導入を検討している研究者、または大学関係者の方がいれば、ぜひ参考にしてみてください。

――菅製作所のALD装置を導入するまでどんなことに困っていましたか？

国内産の装置が少なく、外国製の輸入品を使っていました。

しかし、外国製の装置は、故障頻度が高く、さらには修理時間が長くて研究に支障をきたしていました。

――菅製作所のALD装置を導入するきっかけはなんでしたか？

ALD装置を導入する以前に、菅製作所の別の装置を研究センターで使っていました。

ユーザー側の要望に真摯に対応してくれる会社であることを、よく知っていましたので、菅製作所のALD装置を導入することにしました。

――菅製作所のALD装置を導入した良さはありますか？

菅製作所のALD装置は動作が安定しているため、コンスタントに研究が進んでいる事が一番よかった点です。

また、部品が壊れたらすぐに対応してくれて、リーズナブルな時間で修理が終わります。

あとは、研究開発の目的に応じて装置をカスタマイズしてくれるとこと。

研究者は、研究する目的に応じて装置に対する要望がでてくることがあります。

菅製作所は、使っている人の要望に柔軟に対応してくれます。非常にありがたいですね。

――ALD装置は将来私たちの生活のどんなことに役立つと思いますか？

ALD装置は、複雑な形状なものでも、均一にいろんな膜を作られることが特徴。

その点、表面をコーティングする技術の応用として使えるのではと思います。

例として、「義歯」はどうだろう。

義歯は、いろんな酸に犯されないためや、化学反応で劣化しないよう何層もコーティングされている物。

義歯を例えに、こういった表面を守るためにコーティングし、製品にする事で世の中のためになるのではと思いますけどね。

他にもいろんなところで活用できると思いますよ。

菅製作所のALD装置を紹介

今回、北海道大学エレクトロニクス研究センターに導入されたALD装置は、現在発売されている「SAL3000の前身となる装置」を導入しました。

こちらの装置以外にも、菅製作所のALD装置は6種類あります。ALD装置の製品の詳細についてはこちらをご覧ください。

まとめ

菅製作所の事例紹介として、実際に菅製作所のALD装置を使用した生の声を橋詰特任

教授から頂きました。

外国製品とは違い、故障しにくく、故障してもすぐに修理してもらえる。

さらには、研究の目的によってカスタマイズの相談にも乗ってもらえる点が高評価でした。

購入後も製品に満足していただけるよう、菅製作所はお客様の様々なご要望にお答えしております。

製品の購入に悩んでいる方はぜひ、検討材料にしていただけたら幸いです。

さらに、菅製作所は札幌・静岡に支店を構えており、全国どこでも迅速に対応しています。

導入のご相談は、下記よりお問い合わせください。