成膜装置 一覧

私たちの生活を支えるスパッタを活用した製品

普段の生活の中では、耳慣れない「スパッタ」。 簡単に説明すると、材料表面に高エネルギーの粒を当てることで、材料の表面から原子が飛び出すことをいいます。 この飛び出した原子達が、近くにある物質にくっつくと膜ができます。 スパッタを活用した製品は私たちの生活には欠かせないものとなっています。

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