導入事例一覧

今回は、菅製作所のスパッタ装置を導入している、北海道大学大学院情報科学研究院ナノエレクトロニクス研究室教授末岡和久（すえおかかずひさ）氏にお話を伺いました。末岡教授は、スパッタ装置をエレクトロニクス分野や材料表面の物性の研究などのために導入され、現在では大学生との研究や別

今回は、菅製作所のALD装置を導入している、北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター特任教授工学博士橋詰保(はしづめたもつ)氏にお話を伺いました。橋詰特任教授は、ALD装置を「半導体デバイス」の研究に使うため研究センターに導入し、大学院学生との研究や企業との共同研

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