菅製作所のスパッタ装置を導入した事例紹介【北海道大学 大学院情報科学研究院 ナノエレク…

今回は、菅製作所のスパッタ装置を導入している、北海道大学大学院情報科学研究院 ナノエレクトロニクス研究室 教授 末岡 和久（すえおか かずひさ）氏にお話を伺いました。 末岡教授は、スパッタ装置をエレクトロニクス分野や材料表面の物性の研究などのために導入され、現在では大学生との研究や別

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菅製作所のALD装置を導入した事例紹介【北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センタ…

今回は、菅製作所のALD装置を導入している、北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 特任教授 工学博士 橋詰 保(はしづめ たもつ)氏にお話を伺いました。 橋詰特任教授は、ALD装置を「半導体デバイス」の研究に使うため研究センターに導入し、大学院学生との研究や企業との共同研

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