テスト成膜 一覧

テスト成膜事例紹介 ~SSP1000キュービックスパッタ装置でTMP(ターボ分子ポンプ…

テスト成膜事例紹介 SSP1000キュービックスパッタ装置を使ってTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみたことがあります。今回のブログではその実験結果をご紹介いたします。 簡単に結論だけ申し上げると、TMP(ターボ分子ポンプ

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テスト成膜事例紹介 ~SSP1000キュービックスパッタ装置で行った銅粉末にアルミコー…

テスト成膜事例紹介 SSP1000キュービックスパッタ装置に3mm厚、Φ50.8mmに加工したアルミ合金をセッティングして銅の粉末にアルミ成膜してみました。 下記写真を見ていただくと銅の色からアルミのシルバーにしっかり色が変わっていることがわかります。 このように社内のS

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