テスト成膜事例紹介 ~SAL1000B卓上型でφ300μm TiビーズにAl2O3成膜…
テスト成膜事例紹介 粉体にALD成膜可能なSAL1000Bでφ300μm TiビーズにAl2O3成膜してみた結果をご紹介します。 詳しくはこちらのレポートを見てもらいたいのですが、成膜条件は下記のようにセッティングを行い成膜しました。 成膜条件
テスト成膜事例紹介 粉体にALD成膜可能なSAL1000Bでφ300μm TiビーズにAl2O3成膜してみた結果をご紹介します。 詳しくはこちらのレポートを見てもらいたいのですが、成膜条件は下記のようにセッティングを行い成膜しました。 成膜条件
テスト成膜事例紹介 粉体にALD成膜可能なSAL1000Bでφ45μm Ni粉体にAl2O3成膜してみた結果をご紹介します。 詳しくはこちらのレポートを見て貰いたいのですが、成膜条件は下記のようにセッティングを行い成膜しました。 使用装置:SAL1
テスト成膜事例紹介 SSP1000キュービックスパッタ装置を使ってTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみたことがあります。今回のブログではその実験結果をご紹介いたします。 簡単に結論だけ申し上げると、TMP(ターボ分子ポンプ
テスト成膜事例紹介 SSP1000キュービックスパッタ装置に3mm厚、Φ50.8mmに加工したアルミ合金をセッティングして銅の粉末にアルミ成膜してみました。 下記写真を見ていただくと銅の色からアルミのシルバーにしっかり色が変わっていることがわかります。 このように社内のS
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