テスト成膜事例紹介 ~SSP1000キュービックスパッタ装置でTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみた~

SSP1000キュービックスパッタ装置でTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみた~

テスト成膜事例紹介

SSP1000キュービックスパッタ装置を使ってTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみたことがあります。
今回のブログではその実験結果をご紹介いたします。

簡単に結論だけ申し上げると、TMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでもスパッタ成膜できますが、成膜前の圧力が高いので不純物ガスが多く膜質に懸念が残ります。

テスト成膜事例紹介

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膜質があまり重要ではない用途には、TMP(ターボ分子ポンプ)無しでも使えそうですね。

このように菅製作所では社内のSSP1000キュービックスパッタ装置で実験的に成膜することも可能です。

SSP1000キュービックスパッタ装置でどのような成膜ができるのか気になる方、お気軽にお問い合わせください。

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この記事を書いた人

工藤 雅嗣

工藤 雅嗣

函館工業高等専門学校電気工学科卒、専攻科(生産システム工学専攻)卒
デジタル家電メーカーでの商品設計を経て2011年より菅製作所技術開発部へ配属
2021年より営業部へ異動となり、お客様と創意工夫しながらものづくりを行っております。
趣味:釣り

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