テスト成膜事例紹介
SSP1000キュービックスパッタ装置を使ってTMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでスパッタ成膜できるか実験してみたことがあります。
今回のブログではその実験結果をご紹介いたします。
簡単に結論だけ申し上げると、TMP(ターボ分子ポンプ)無し、RP(ロータリーポンプ)のみでもスパッタ成膜できますが、成膜前の圧力が高いので不純物ガスが多く膜質に懸念が残ります。
膜質があまり重要ではない用途には、TMP(ターボ分子ポンプ)無しでも使えそうですね。
このように菅製作所では社内のSSP1000キュービックスパッタ装置で実験的に成膜することも可能です。
SSP1000キュービックスパッタ装置でどのような成膜ができるのか気になる方、お気軽にお問い合わせください。
