アニール装置 製品一覧

基板への高温の熱処理、ガス置換が可能です。SAN2000Plusはプラズマ処理が可能です。

  • SAN1000

    基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能

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  • SAN2000Plus

    MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

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