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酸化膜とは?特性や成膜方法、成膜可能な装置についてわかりやすく解説

本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。 酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知

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金属膜とは?形成方法・分類・応用分野をわかりやすく解説

金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。 本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能

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窒化膜とは?成膜方法や最新の技術、成膜可能な装置についてわかりやすく解説

窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。 そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。 窒化膜は特に半導

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絶縁膜とは?使われる部品や成膜方法・種類・最新の技術動向までわかりやすく解説!

絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。 そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ

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RFスパッタとは?原理やメリット、DCスパッタとの違いをわかりやすく解説

RFスパッタは絶縁膜(電気を通さない)が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。 そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門

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新年のご挨拶

明けましておめでとうございます。 旧年中は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。本年も、更なるサービスの向上に努めて参ります。 本年も宜しくお願い申し上げます。

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スパッタ成膜とは?基礎から課題、新技術への関連性まで詳しく解説

近年、スマートフォンやパソコンの普及により、半導体の需要が急増しました。その半導体の多くはスパッタ成膜という技術が使用されており、縁の下の力持ちとして活躍しています。 しかし、スパッタ成膜は専門性が高く理解が難しいこともあるでしょう。そこで今回は、スパッタ装置を製造する菅製作所がスパ

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国際会議MNC2023に出展します

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)に出展します。 当社ブース「小間番号⑤」にて、卓上型原子層堆積装置 SAL1000 デスクトップ型ALD装置 と卓上型スパッタ装置 SSP1000 キ

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未来のテクノロジーを切り拓く「2nm」の秘密!2nmプロセスの課題と展望

近年注目を浴びている2nmプロセス。IBMとラピダスがパートナーシップを締結したことで、国内でも話題になりました。 しかし、新技術かつ専門的な内容で理解が難しいジャンルでもあります。 そこで今回は、半導体分野の知見を多く持つ菅製作所が、2nmプロセスについてわかりやすく解説しま

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