スパッタリング 一覧

スパッタ装置とは?スパッタ装置製造メーカーAGUSがスパッタの基本の㋖を解説!

1946年に創業した菅製作所は、約半世紀もの間、漁業用船舶機器の製造販売および漁船向けの動力伝達用クラッチシステムを中心に、油圧機器、漁労機器などの船舶用機器を提供してまいりました。 2000年には自社製スパッタ装置の販売を開始し、現在は大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げております

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卓上型スパッタ装置 SSP1000で窒化チタン(TiN)を成膜してみた

皆さん、“TiN(窒化チタン)”って聞いたことがあるでしょうか? チタニウムナイトライドの略ですが、一般的にティーアイエヌとかチタンナイトライドと呼ばれています。 半導体では主にSiO2等の酸化膜層に直接Cuを成膜すると溶け込んでしまうので、バリア層としてTiNを間に成膜します。 それとは別に、今

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小型スパッタ装置なら狭い研究所でも設置可能!配置変更も出来る卓上型のオススメポイントを…

小型スパッタ装置のおすすめポイントと特徴をご紹介。研究所の卓上に設置するイメージがつかめる様に、実際の操作風景もお見せします。 SSP1000キュービックスパッタ装置は、高性能、高品質、低価格を実現した卓上小型スパッタ装置です。成膜方向を自由に変更できるユニークな構造の為、これ1台で3方向の成

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