真空装置 製品一覧

  • STR2000

    PLUSシリーズ3台までと連結できる省スペースの自動基板搬送アーム

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  • SAF3000

    炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応

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  • スペースチャンバー

    液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載

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