真空装置 製品一覧

  • SEV2000Plus

    金属膜又は酸化膜等を成膜することを目的とした真空蒸着装置です。

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  • STR2000

    PLUSシリーズ3台までと連結できる省スペースの自動基板搬送アーム

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  • SAF3000

    炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応

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  • スペースチャンバー

    液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載

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