真空装置 製品一覧

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  SAN1000

  基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能

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  SAN2000Plus

  MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる

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  SEV2000Plus

  金属膜又は酸化膜等を成膜することを目的とした真空蒸着装置です。
  

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  STR2000

  PLUSシリーズ3台までと連結できる省スペースの自動基板搬送アーム

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  SAF3000

  炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応

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  スペースチャンバー

  液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載

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