新年のご挨拶
明けましておめでとうございます 本年もお客様のお役に立てるよう活動いたします 実験の幅を広げる装置複合化が注目されています!Plusシリーズのご紹介 Plusシリーズ装置同士の連結が可能です STR2000が装置間の基板搬送を担います 複合化により、幅広い実
明けましておめでとうございます 本年もお客様のお役に立てるよう活動いたします 実験の幅を広げる装置複合化が注目されています!Plusシリーズのご紹介 Plusシリーズ装置同士の連結が可能です STR2000が装置間の基板搬送を担います 複合化により、幅広い実
半導体製造はますます精密さが求められ、ほんのわずかな塵や水分が歩留まりを左右する繊細な工程です。 その「高精度」な工程を実現するためにあるのが、真空チャンバーです。 薄膜形成、エッチング、露光など、主要な半導体プロセスの多くは「真空環境がなければ成り立たない」と言われるほど、真
半導体の微細化が進む今、回路の形状を精密に作るために欠かせないのがエッチング工程です。 ウエハーに成膜された材料を、必要な部分だけ正確に残し、不要な部分を削り取るこのプロセスは、デバイス性能を左右する重要なステップです。 本記事では、エッチングの基礎から、2つの手法による違い、
このたびの北海道・三陸沖を震源とする地震により、被災された皆さまに心よりお見舞い申し上げます。 皆さまの安全と、一日も早い復旧・復興をお祈りいたします。 なお、北海道北斗市にございます弊社 本社および工場につきましては、幸いにも大きな被害はなく、通常通り営業を行っております。 被災地域の皆さ
半導体の性能を決める“心臓部”ともいえる工程が、ウエハー内部へ不純物(ドーパント)を精密に注入する「イオン注入」です。 トランジスタのしきい値電圧やスイッチング速度など、デバイスの動作を左右する重要な特性は、この工程の精度によって大きく変わります。 イオンを電場で加速し、狙った
電子を加速させて気体分子を電離し、その電流から圧力を求める冷陰極電離真空計。 機械的な構造が少なく、広い圧力範囲をカバーできる点で多くの研究現場や真空装置に利用されています。 本記事では、冷陰極電離真空計の原理・構造・測定の仕組みをわかりやすく解説。 さらに、扱う際の注意
真空技術の世界で広く使われている「熱陰極電離真空計」は、極めて高い真空度を正確に測定できる装置です。 真空中のわずかなガス分子を検出するために、フィラメントを加熱して電子を放出し、ガスを電離させて圧力を算出するという独自の原理を持っています。 本記事では、熱陰極電離真空計の仕組
真空装置を扱ううえで欠かせない「真空計」ですが、目盛りの読み方に迷う人も少なくありません。 しかし、数値の小ささやマイナス表示、Pa(パスカル)などの単位の意味を正しく理解していないと、誤った判断に繋がる恐れもあります。 本記事では、真空計の目盛りの読み方を基礎からわかりやすく
真空技術を扱う研究や製造の現場では、「どの真空計を使うか」が測定精度や作業効率を大きく左右する重要な要素です。 本記事では、主な真空計の種類とそれぞれの原理、測定精度や耐久性を考慮した選び方のポイントまでわかりやすく解説します。 「何を測るための真空計なのか」という目的を起点に
現代社会に不可欠なスマートフォンやパソコン。その高性能化の鍵を握る最先端技術の一つが、「ALD(原子層堆積法:Atomic Layer Deposition)」です。 ALDは、原子を一層ずつ極めて精密に制御しながら堆積させる技術であり、半導体の微細化・高集積化を根底から支えています。
触媒は、化学反応の速度を高める「縁の下の力持ち」です。 近年、原子層堆積法(ALD:Atomic Layer Deposition)が、触媒の性能向上技術として注目されています。 ナノレベルでの膜形成が可能なALDは、触媒表面を精密に修飾し、反応活性の向上や被毒の抑制、長寿命化
原子層堆積法(ALD)は、原子レベルで薄膜を形成し、膜厚だけでなく表面の化学特性までも精密に制御できる革新的な技術です。 特に、親水性・疎水性といった「濡れ性」のコントロールは、半導体、医療、光学分野などで性能や機能を左右する重要な要素です。本記事では、ALDによる親水性・疎水性の制
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