半導体製造に欠かせない真空装置の役割。ポンプ選びのポイントまで解説
自社の半導体製造工程において、最適な真空装置が分からず悩んでいませんか？ 専門用語が多く、真空技術がなぜ半導体製造に必要なのか、具体的な関係性がイメージしづらいですよね。 実は、最先端の半導体の性能を決定づけているのは「真空技術」であり、その役割を理解することが最適な装置選定へ
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真空装置の仕組みを支える4つの要素。原理とポンプの種類も解説
「真空装置の仕組みについて知りたい」「なんだか複雑でよくわからない・・・」 そうお考えの方も多いのではないでしょうか。 そこで今回は、長年真空装置開発に携わる「菅製作所」が、真空装置がどのような仕組みで成り立っているのかについて、詳しく解説します。 合わせて、装置の心臓部
真空蒸着装置の加熱方式・スパッタリングとの違いも解説
真空蒸着（Vacuum Deposition）は、現代のエレクトロニクス、光学部品、装飾品の製造において、非常に重要な薄膜形成技術の一つです。 材料を加熱・蒸発させ、その分子や原子を基板（ターゲットとなる部品）に付着させて薄膜を作ります。 この技術を支える真空蒸着装置は、どのよ
真空装置を原理・代表的な種類から成膜方法までわかりやすく解説。
現代のエレクトロニクス、特に半導体製造の現場において、「真空」は欠かせない環境です。 真空装置は、この特殊な空間を作り出し、維持することで、原子レベルの精密な加工や薄膜形成（成膜）を可能にしています。 本記事では、「真空」の基本的な定義から、半導体製造に真空が必要な理由、真空装
真空度とは？定義・単位・測定方法について
私たちの身の回りには、意識せずとも多くの真空技術が活用されています。スマートフォンやパソコンの心臓部である半導体の製造から、食品のフリーズドライ、さらには最先端の科学実験まで、多岐にわたる分野で「真空」が重要な役割を担っているのです。 しかし、「真空」とは一体何でしょうか？そして、そ
ピラニ真空計とは？原理・構造・使い方について
真空技術が不可欠な現代産業において、真空度の正確な測定はプロセスの成否を左右します。中でも「ピラニ真空計」は、その手軽さと信頼性から多くの現場で活躍する主要な真空計です。 しかし、この計器がどのような原理で機能し、どのように読み取るべきかを深く理解していなければ、誤った判断からプロセ
真空バルブの仕組みとは？研究開発を加速する選定・運用方法を徹底解説
半導体製造、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造、医療機器、分析機器、宇宙開発など、現代社会を支える最先端の研究開発や産業プロセスにおいて、真空技術は不可欠な基盤です。そして、その高性能な真空システムの中核を担うのが、真空バルブに他なりません。 真空バルブは、ガス流の精密な制御を
ロータリーポンプ使用時におけるオイルバックとは？真空プロセスを守る対策を徹底解説
半導体製造、材料研究、分析機器など、さまざまな分野で不可欠な真空プロセス。その基盤を支える真空ポンプの中でも、特に「粗引き」や「中真空」領域で広く用いられるのが、ロータリーポンプ（RP：油回転真空ポンプ）です。 しかし、このロータリーポンプを使用する上で、避けて通れない重要な課題が「
【半導体基礎知識】成膜とは？特徴・方法・装置について解説。
私たちの身の回りにある多くの製品には、目に見えないほど薄い膜が施されています。 この薄膜を作る技術を「成膜」といいます。スマートフォンやパソコンのディスプレイ、自動車のボディなど、様々な製品に利用されている成膜について、詳しく解説していきます。 現代のデジタル社会を支える半導体
菅製作所の光放出電子顕微鏡【MyPEEM】の性能や特徴を紹介
光放出電子顕微鏡（MyPEEM）は、紫外光などの短波長の光を照射し、サンプルから放出される光電子を検出することで、サンプル表面の仕事関数をリアルタイムで可視化することができる顕微鏡です。 主な用途として、薄膜の成長過程や触媒反応の動的過程の追跡など。 ガスの吸着、脱離による表面
【完全版】確かな実績と信頼。研究開発におすすめの真空装置8種類の概要や用途を紹介【菅製…
真空装置とは、真空の状態を利用した装置を指しており、目的に応じて真空システムを設定し作業をおこないます。昨今の産業の発展、そして様々な用途、研究においてなくてはならない装置の一つです。 そこで、今回は真空装置を取り扱う菅製作所の真空装置8種類と、全17機をご紹介いたします。 研
【一覧】真空装置の種類は5つ！人気のおすすめ9選も紹介
真空装置は研究開発用途として多く使われており、その中でも種類によって使用方法は変わります。 今回は、真空装置の種類５つと、その中から厳選した真空装置9台をご紹介します。 1946年に創業した菅製作所は、自社製スパッタ装置の販売、大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げております。そんな菅製
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