ALD装置のメンテナンス方法｜現場で役立つ点検・清掃・トラブル対策
ALD（原子層堆積）装置で再現性の高い成膜を行い、安定して使い続けるためには、適切なメンテナンスが欠かせません。 本記事では、ALD装置のメンテナンスに関するよくある質問をQ&A形式でわかりやすくまとめました。 日常点検のポイントやトラブル時の原因切り分け方法など、実務
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【新着動画】粉体成膜用ALD装置「SAL1000B」による銅粉末へのAl₂O₃コーティ…
弊社YouTube公式チャンネルにて、粉体用ALD装置「SAL1000B」を使用した成膜プロセスの解説動画を公開いたしました。 今回の動画では、銅（Cu）粉末に対してアルミナ（Al₂O₃）を成膜する様子を、実際の装置操作を交えながら余すことなくお見せします。 【動画のポイント】
スパッタ装置のメンテナンス方法｜現場で役立つ点検・清掃・トラブル対策
スパッタ装置を安定して使い続けるためには、適切なメンテナンスが欠かせません。 本記事では、スパッタ装置のメンテナンスに関するよくある質問をQ&A形式でわかりやすくまとめました。 日常点検のポイントやトラブル時の確認方法など、実務に役立つ内容を紹介しています。ぜひ参考にし
【新着動画】「What is sputtering? Explained by a V…
本動画では、真空装置メーカーの視点から「スパッタリングとは何か」を英語でわかりやすく解説しています。スパッタリングは、半導体、電子部品、光学デバイスなど幅広い分野で活用されている代表的な薄膜成膜技術です。 動画では、スパッタリングの基本原理に加え、真空環境の役割、プラズマの発生、ターゲット材
【御礼】YouTube公式チャンネル登録者数300人を達成いたしました
いつも弊社YouTubeチャンネルをご視聴いただき、誠にありがとうございます。 おかげさまで、この度チャンネル登録者数が300名を突破いたしました。 2016年5月31日の開設以来、真空技術や半導体製造プロセスなど、弊社の専門分野である「研究開発」に特化したニッチな内容を配信してまいり
【新着動画】「Sputtering Mechanism」を公開しました。
本動画では、薄膜形成技術として広く利用されている「スパッタリング」の基本メカニズムについて、英語でわかりやすく解説しています。スパッタリングは、真空中で発生させたプラズマ中のイオンをターゲット材料へ衝突させ、その際に放出された原子を基板上へ堆積させる成膜技術です。半導体、光学デバイス、電子部品など
【新着動画】5分で学べる！「ウェット・ドライ」どっちが最適？エッチング技術の基本
半導体デバイスの性能を大きく左右する「エッチング工程」。 回路の微細化が加速する中、適切な手法の選択は製造現場において非常に重要です。 最新の解説動画では、現場で培ってきたSUGA Co., Ltd.の知見をもとに、エッチングの基礎知識を5つのステップに分けて解説しました。 ■こ
GWのご案内
菅製作所のゴールデンウィークの日程をご案内いたします。 ４月２５日（土）休業４月２６日（日）休業４月２７日（月）営業４月２８日（火）営業４月２９日（水）休業４月３０日（木）営業５月 １日（金）営業５月 ２日（土）休業５月 ３日（日）休業５月 ４日（月）休業５月 ５日（火）休業５月 ６日（水）
当社社員 工藤が章を執筆した書籍「地上での宇宙環境の作り方、再現と実験の進め方」が刊行
当社社員の工藤が執筆に参加した書籍「地上での宇宙環境の作り方、再現と実験の進め方」が刊行されました。本書では、当社製作のΦ1mスペースチャンバーを用いた実験を含む宇宙環境試験の技術について解説されています。本書の内容が、宇宙開発分野や関連分野での技術検討にお役立ていただければ幸いです。 ■書
SPSワークショップ（2026年3月）
アメリカ合衆国サンディエゴにてSPSワークショップが開催されました。 菅製作所はスポンサーとしてこのワークショップをサポートしています。 SPSがすでにR&Dの枠を超えて多くの可能性を実現してきていることを確認する素晴らしい機会を与えてくれた、開催者であるCalifor
【新着動画】「真空内で基板搬送 トランスファー装置『STR2000』【菅製作所】のご紹…
本動画では、真空環境下で基板搬送を行うトランスファー装置「STR2000」について、その特長や構成、活用シーンをわかりやすくご紹介しています。 半導体製造や薄膜成膜プロセスにおいて、真空を維持したまま基板を搬送する技術は、品質確保や生産効率向上の観点から非常に重要です。 STR2000
【新着動画】「フォトリソグラフィーとは？工程からEUVまで解説【半導体製造】」を公開し…
本動画では、半導体製造の前工程において回路パターンを形成する重要技術「フォトリソグラフィー」について、基礎からわかりやすく解説しています。 フォトリソグラフィーは、フォトレジストを塗布したシリコンウエハに光を照射し、フォトマスクを用いて微細な回路パターンを転写する工程です。半導体デバイスの微
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