いつも菅製作所のウェブサイトをご覧いただき、誠にありがとうございます。
この度、ALD装置をご利用のお客様からよくお問い合わせいただくトラブルとその対策について、詳しく解説した動画を公開いたしました。
動画では、以下の主要なトラブルと、それぞれの具体的な解決策をご紹介しております。
【到達真空度が良くならないケース】
* リークの確認とクリーニング方法
* 真空計の劣化への対応
* 真空ポンプのメンテナンス（オイル交換、オーバーホール）
【成膜できないケース】
* プリカーサの確認と交換
* 導入経路や排気配管の閉塞対策
これらの情報が、皆様のALD装置の安定稼働と研究開発の一助となれば幸いです。ぜひご覧ください。
今後も、皆様のお役に立つ情報を発信してまいりますので、チャンネル登録と高評価もぜひお願いいたします。
