酸化膜とは？特性や成膜方法、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。 酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知
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金属膜とは？形成方法・分類・応用分野をわかりやすく解説
金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。 本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能
窒化膜とは？成膜方法や最新の技術、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。 そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。 窒化膜は特に半導
絶縁膜とは？使われる部品や成膜方法・種類・最新の技術動向までわかりやすく解説！
絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。 そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ
スパッタリングターゲットの種類と活用例・選定のポイントを解説
「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」 「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」 スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。 そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。 ター
RFスパッタとは？原理やメリット、DCスパッタとの違いをわかりやすく解説
RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。 そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門
スパッタ成膜とは？基礎から課題、新技術への関連性まで詳しく解説
近年、スマートフォンやパソコンの普及により、半導体の需要が急増しました。その半導体の多くはスパッタ成膜という技術が使用されており、縁の下の力持ちとして活躍しています。 しかし、スパッタ成膜は専門性が高く理解が難しいこともあるでしょう。そこで今回は、スパッタ装置を製造する菅製作所がスパ
酸化アルミニウム（アルミナ）とは？特徴と性質、身近な使用例を解説します
酸化アルミニウムは授業などで学ぶことは多いものの、実際に社会で何に使われているかは知らない方も多い化合物です。 そこで今回は、酸化アルミニウムの性質と特徴について解説した後、イメージしやすいよう身近で使われているものも紹介します。 ひょっとすると、あなたのすぐ側にも酸化アルミニ
CVD（化学気相成長法）の原理をわかりやすく解説
薄膜を形成するには、いくつかの種類が存在します。 今回はその中の一つ、「CVD（化学気相成長法）」の原理や種類について説明します。 薄膜の種類「CVD（化学気相成長法）」 薄膜を形成するには下図のようにいくつか種類があります。 薄膜の作り方詳細蒸着法真空にし
薄膜の基本「真空蒸着法」についてわかりやすく解説
薄膜を形成するには、いくつかの種類が存在します。 今回はその中の一つ、「真空蒸着法」の原理と種類について説明します。 最後には、身近な例を使い真空蒸着法についてわかりやすく解説しているので、参考になれば幸いです。 薄膜の種類「真空蒸着法」 薄膜を形成するには
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