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金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能

窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。窒化膜は特に半導

絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ

「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。ター

RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門

明けましておめでとうございます。旧年中は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。本年も、更なるサービスの向上に努めて参ります。本年も宜しくお願い申し上げます。

「成膜装置ってどんなプロセスで成膜しているの？」「種類があると聞いて、それぞれの違いが具体的に知りたい」成膜装置は専門性の高い装置で、不明な点も多いかと思います。そこで今回は成膜装置を製作する菅製作所が、成膜装置の基本的な解説や種類、具体的な装置をわかりやすくお伝え

近年、スマートフォンやパソコンの普及により、半導体の需要が急増しました。その半導体の多くはスパッタ成膜という技術が使用されており、縁の下の力持ちとして活躍しています。しかし、スパッタ成膜は専門性が高く理解が難しいこともあるでしょう。そこで今回は、スパッタ装置を製造する菅製作所がスパ

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)に出展します。当社ブース「小間番号⑤」にて、卓上型原子層堆積装置　SAL1000 デスクトップ型ALD装置　と卓上型スパッタ装置　SSP1000 キ

近年注目を浴びている2nmプロセス。IBMとラピダスがパートナーシップを締結したことで、国内でも話題になりました。しかし、新技術かつ専門的な内容で理解が難しいジャンルでもあります。そこで今回は、半導体分野の知見を多く持つ菅製作所が、2nmプロセスについてわかりやすく解説しま

「酸化チタンってどんな化合物なの？」「何に使われているのかいまいちわからない」上記のような疑問をよく耳にします。確かに、酸化チタンは他の化合物に比べ意識しないと目につかない化合物なため、詳しく知らない方が多いのが現状です。そこで今回はチタニアとも呼ばれる酸化チタンについて解

酸化アルミニウムは授業などで学ぶことは多いものの、実際に社会で何に使われているかは知らない方も多い化合物です。そこで今回は、酸化アルミニウムの性質と特徴について解説した後、イメージしやすいよう身近で使われているものも紹介します。ひょっとすると、あなたのすぐ側にも酸化アルミニ

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