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「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。ター

RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門

明けましておめでとうございます。旧年中は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。本年も、更なるサービスの向上に努めて参ります。本年も宜しくお願い申し上げます。

「成膜装置ってどんなプロセスで成膜しているの？」「種類があると聞いて、それぞれの違いが具体的に知りたい」成膜装置は専門性の高い装置で、不明な点も多いかと思います。そこで今回は成膜装置を製作する菅製作所が、成膜装置の基本的な解説や種類、具体的な装置をわかりやすくお伝え

現代のハイテク製品に不可欠な「薄膜」を生み出すスパッタ成膜技術。その名は知っていても、具体的な仕組みや種類、そして導入時のポイントまで深く理解している方は少ないかもしれません。本記事では、スパッタリングの基礎の基礎から、そのメリット・デメリット、多岐にわたる成膜材料、そしてプロセスにおける

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)に出展します。当社ブース「小間番号⑤」にて、卓上型原子層堆積装置　SAL1000 デスクトップ型ALD装置　と卓上型スパッタ装置　SSP1000 キ

近年注目を浴びている2nmプロセス。IBMとラピダスがパートナーシップを締結したことで、国内でも話題になりました。しかし、新技術かつ専門的な内容で理解が難しいジャンルでもあります。そこで今回は、半導体分野の知見を多く持つ菅製作所が、2nmプロセスについてわかりやすく解説しま

「酸化チタンってどんな化合物なの？」「何に使われているのかいまいちわからない」上記のような疑問をよく耳にします。確かに、酸化チタンは他の化合物に比べ意識しないと目につかない化合物なため、詳しく知らない方が多いのが現状です。そこで今回はチタニアとも呼ばれる酸化チタンについて解

酸化アルミニウムは授業などで学ぶことは多いものの、実際に社会で何に使われているかは知らない方も多い化合物です。そこで今回は、酸化アルミニウムの性質と特徴について解説した後、イメージしやすいよう身近で使われているものも紹介します。ひょっとすると、あなたのすぐ側にも酸化アルミニ

今回は、菅製作所のスパッタ装置を導入している、北海道大学大学院情報科学研究院ナノエレクトロニクス研究室教授末岡和久（すえおかかずひさ）氏にお話を伺いました。末岡教授は、スパッタ装置をエレクトロニクス分野や材料表面の物性の研究などのために導入され、現在では大学生との研究や別

今回は酸化ハフニウムについて解説します。聞き馴染みの無い化合物かもしれませんが、意外と身近なものにも使われているので、ぜひご覧ください。特に強誘電体メモリという種類のメモリがキーワードになってきますので、一緒に紐解いていきましょう。酸化ハフニウム（ハフニア）とは

トリメチルアルミニウムとは？注意点や社会での活用方法を解説トリメチルアルミニウムは、日常的にはあまり耳にしない化合物ですが、実は身近な製品の原料として使用されています。この記事では、トリメチルアルミニウムの特徴と、社会での活用方法をわかりやすく解説します。実験や授業の理解を深め

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