菅製作所のYouTubeチャンネルにて、「酸化シリコン失敗成膜大公開！失敗から学ぶ原因と修正点」と題した新作技術解説動画を公開いたしました。

本動画では、当社のスパッタリング装置による酸化シリコン（SiO₂）成膜プロセスにおいて、実際に発生した失敗事例を通じて、失敗の原因とそこから得られる教訓をリアルに解説しています。

特に焦点を当てているポイントは以下の通りです：

• 実際の失敗成膜基板の取り出し時の様子
• 各要因の分析と過去の経験から導いた、成功成膜への修正ポイント
• 成膜成功基板と失敗基板の比較

研究開発の現場で成膜技術に携わる皆さまに向けて、失敗から得る改善へのヒントをお届けしています。

ぜひ本編をご覧いただき、成膜プロセスの品質向上にお役立てください。

酸化シリコン失敗成膜大公開！失敗から学ぶ原因と修正点

動画の成膜で使用しました：SSP1000　キュービックスパッタ装置