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卓上型スパッタ装置　SSP1000で窒化チタン(TiN)を成膜してみた

皆さん、“TiN（窒化チタン）”って聞いたことがあるでしょうか？ チタニウムナイトライドの略ですが、一般的にティーアイエヌとかチタンナイトライドと呼ばれています。 半導体では主にSiO2等の酸化膜層に直接Cuを成膜すると溶け込んでしまうので、バリア層としてTiNを間に成膜します。 それとは別に、今

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小型スパッタ装置なら狭い研究所でも設置可能！配置変更も出来る卓上型のオススメポイントを…

小型スパッタ装置のおすすめポイントと特徴をご紹介。研究所の卓上に設置するイメージがつかめる様に、実際の操作風景もお見せします。 SSP1000キュービックスパッタ装置は、高性能、高品質、低価格を実現した卓上小型スパッタ装置です。成膜方向を自由に変更できるユニークな構造の為、これ1台で3方向の成

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