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卓上型ALD装置、エントリーモデル
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粉体・固形粒子への全周囲成膜を可能にした卓上型ALD
グローブボックス付きの卓上型ALD、粉体への成膜にも対応
従来モデルSAL1000Bの最大5ccの資料容量に対し「より多いペレットや粉体試料を成膜したい！」というご要望を受けて誕生。1バッチ 160ccまで成膜可能。
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