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半導体技術は、20世紀における最も重要な科学的発見の一つとされています。半導体は、人類の生活を一変させる革新的な進化を遂げてきました。現在、半導体は、スマートフォン、パソコン、自動車、家電製品など、様々な機器に搭載されているだけでなく、人工知能（AI）、ビッグデータ、IoTなど

透明導電膜と聞いても、何に使われているかイメージがつきにくいですよね。しかし、意外と身近に使われているものなのです。この記事を読めば、透明導電膜の主な種類から、身近な実用例まで具体的なイメージがつきます。専門用語を極力使用せず、噛み砕いて解説していますので、専門書が苦手な方もぜひご

本記事では、光学薄膜についてわかりやすく解説します。得られる効果から種類、身近に使われている例などを紹介しますので、専門書を読む前にご覧いただくと、理解が深まります。聞き馴染みのない言葉かと思いますが、日常生活に欠かせない技術です。専門用語は噛み砕いて、わかりやすく解説しております

本記事では、反応性スパッタリングについて解説します。どのような場面で使われるかから、特性、近年の研究までわかりやすくお伝えします。また、記事の後半では実際に成膜した例と写真を掲載しておりますので、ぜひご覧ください。今現在も活用されているスパッタリング法の一種ですので、薄膜に関心があ

スパッタリング法の勉強は専門的で大変ですよね。専門書は難しく、身近に専門家も少ない場合、学ぶのは難易度が高いと思います。そこで本記事では、スパッタリング法で重要になるスパッタ率についてわかりやすく解説します。スパッタ率そのものの説明や、左右される原因、確認と計算方法についてもお

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会　展示会に出展します。当社は研究開発用の小型原子層堆積装置「デスクトップ型ALD装置 SAL1000」と小型卓上スパッタ装置「キュービックスパッタ装置 SSP1000」の展示を行います。当社ブース「小間番号：E-97」にて、皆様のご来場をお

本記事では、ステップカバレッジ（段差被覆性）に焦点を絞り解説します。用語そのものだけでなく、なぜカバレッジを気にする必要があるのかまで解説しておりますので、成膜の基礎を知りたい方はぜひご覧ください。また、カバレッジを良好にするための方法についても解説しております。

前回の記事で、「SPS焼結の応用事例について」として7つの分類を紹介させていただきました。今回は、その中から「従来焼結法との比較・改善」について、より具体的な内容をお伝えします。従来焼結法との比較・改善急速昇温、ON/OFFパルス通電等の効果により、従来焼結法と

本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知

金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能

窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。窒化膜は特に半導

絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ

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