SAN2000Plus
MAX1000℃の温度制御やRF電源搭載が可能、拡張可能型装置に接続できる
製品一覧
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SEV2000Plus
金属膜又は酸化膜等を成膜することを目的とした真空蒸着装置です。
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STR2000
PLUSシリーズ3台までと連結できる省スペースの自動基板搬送アーム
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SAF3000
炉芯管内の正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷に対応
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スペースチャンバー
液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載
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SWE1000
スプレーによる噴霧で薬液・純水・窒素を導入、レシピ作成可能
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電磁ロータリーポンプバルブ
自社製造のアイソレーションバルブ、NW25とNW40に対応
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真空チャンバー
ステンレス、アルミどちらも製作可能です。詳細はお問合せください。
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JIS真空フランジ
自社で加工したJIS規格対応の真空フランジ、VG/VFがあります。
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真空継手
真空フランジにパイプや接手を溶接。特注品も製作します。
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汎用マイコン・汎用メモリへの書込みサービスです。
その他、出張書込みサービスや技術相談も行っております。
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装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。
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