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前回の記事で、「SPS焼結の応用事例について」として7つの分類を紹介させていただきました。今回は、その中から「従来焼結法との比較・改善」について、より具体的な内容をお伝えします。従来焼結法との比較・改善急速昇温、ON/OFFパルス通電等の効果により、従来焼結法と

本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知

金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能

窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。窒化膜は特に半導

絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ

「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。ター

RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門

明けましておめでとうございます。旧年中は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。本年も、更なるサービスの向上に努めて参ります。本年も宜しくお願い申し上げます。

「成膜装置ってどんなプロセスで成膜しているの？」「種類があると聞いて、それぞれの違いが具体的に知りたい」成膜装置は専門性の高い装置で、不明な点も多いかと思います。そこで今回は成膜装置を製作する菅製作所が、成膜装置の基本的な解説や種類、具体的な装置をわかりやすくお伝え

現代のハイテク製品に不可欠な「薄膜」を生み出すスパッタ成膜技術。その名は知っていても、具体的な仕組みや種類、そして導入時のポイントまで深く理解している方は少ないかもしれません。本記事では、スパッタリングの基礎の基礎から、そのメリット・デメリット、多岐にわたる成膜材料、そしてプロセスにおける

36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023)に出展します。当社ブース「小間番号⑤」にて、卓上型原子層堆積装置　SAL1000 デスクトップ型ALD装置　と卓上型スパッタ装置　SSP1000 キ

近年注目を浴びている2nmプロセス。IBMとラピダスがパートナーシップを締結したことで、国内でも話題になりました。しかし、新技術かつ専門的な内容で理解が難しいジャンルでもあります。そこで今回は、半導体分野の知見を多く持つ菅製作所が、2nmプロセスについてわかりやすく解説しま

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