一覧

本記事では、反応性スパッタリングについて解説します。どのような場面で使われるかから、特性、近年の研究までわかりやすくお伝えします。また、記事の後半では実際に成膜した例と写真を掲載しておりますので、ぜひご覧ください。今現在も活用されているスパッタリング法の一種ですので、薄膜に関心があ

スパッタリング法の勉強は専門的で大変ですよね。専門書は難しく、身近に専門家も少ない場合、学ぶのは難易度が高いと思います。そこで本記事では、スパッタリング法で重要になるスパッタ率についてわかりやすく解説します。スパッタ率そのものの説明や、左右される原因、確認と計算方法についてもお

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会　展示会に出展します。当社は研究開発用の小型原子層堆積装置「デスクトップ型ALD装置 SAL1000」と小型卓上スパッタ装置「キュービックスパッタ装置 SSP1000」の展示を行います。当社ブース「小間番号：E-97」にて、皆様のご来場をお

本記事では、ステップカバレッジ（段差被覆性）に焦点を絞り解説します。用語そのものだけでなく、なぜカバレッジを気にする必要があるのかまで解説しておりますので、成膜の基礎を知りたい方はぜひご覧ください。また、カバレッジを良好にするための方法についても解説しております。

前回の記事で、「SPS焼結の応用事例について」として7つの分類を紹介させていただきました。今回は、その中から「従来焼結法との比較・改善」について、より具体的な内容をお伝えします。従来焼結法との比較・改善急速昇温、ON/OFFパルス通電等の効果により、従来焼結法と

本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知

金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能

窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。窒化膜は特に半導

絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ

「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。ター

RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門

明けましておめでとうございます。旧年中は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。本年も、更なるサービスの向上に努めて参ります。本年も宜しくお願い申し上げます。

製品・サービスに関するお問い合せ

050-3734-0730

電話受付時間
8:30～17:00
（定休：土日祝）