蒸着とは：原理・仕組み・種類・用途を徹底解説。
コーティング加工は製品の機能性を高めたり、機能を長く保持させたりする役割を持っています。製品の外側・内側には多くのコーティング技術が使われています。そのなかの代表例が「蒸着」です。 この記事では、スパッタ装置をはじめとする成膜装置を製作する菅製作所が、成膜の基本である「蒸着」の基本的
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ALD装置とは：特徴・原理・装置を紹介。
ナノの世界を自在に操る、ALD装置。 半導体デバイスがますます高性能化していく中、より微細な構造が求められています。ALD装置は、そんなニーズに応えるべく誕生しました。原子1層ずつ丁寧に膜を成長させることで、従来の技術では不可能だった高密度かつ均一な膜を実現。最先端技術を支える重要な装置です。
半導体ウエハーとは | 役割・原料・製造プロセスを解説
半導体ウエハー（wafer）とは、とても薄くて平らな板のことで、半導体の製造過程では、多くの場合、シリコンの単結晶から作られています。非常に薄くて小さな板で、量産されているシリコンウエハーの直径は一般的に8インチ（200mm）や12インチ（300mm）です。 ちなみに研究用ではも
透明導電膜とは？主な種類や社会での活用例をわかりやすく解説
透明導電膜と聞いても、何に使われているかイメージがつきにくいですよね。しかし、意外と身近に使われているものなのです。 この記事を読めば、透明導電膜の主な種類から、身近な実用例まで具体的なイメージがつきます。専門用語を極力使用せず、噛み砕いて解説していますので、専門書が苦手な方もぜひご
光学薄膜とは？成膜時に得られる効果と身近な例を解説！
本記事では、光学薄膜についてわかりやすく解説します。得られる効果から種類、身近に使われている例などを紹介しますので、専門書を読む前にご覧いただくと、理解が深まります。 聞き馴染みのない言葉かと思いますが、日常生活に欠かせない技術です。専門用語は噛み砕いて、わかりやすく解説しております
反応性スパッタリングとは？特性や使う場面、最新研究までわかりやすく解説
本記事では、反応性スパッタリングについて解説します。どのような場面で使われるかから、特性、近年の研究までわかりやすくお伝えします。また、記事の後半では実際に成膜した例と写真を掲載しておりますので、ぜひご覧ください。 今現在も活用されているスパッタリング法の一種ですので、薄膜に関心があ
スパッタ率とは？確認・計算方法と左右される原因を解説
スパッタリング法の勉強は専門的で大変ですよね。専門書は難しく、身近に専門家も少ない場合、学ぶのは難易度が高いと思います。 そこで本記事では、スパッタリング法で重要になるスパッタ率についてわかりやすく解説します。スパッタ率そのものの説明や、左右される原因、確認と計算方法についてもお
ステップカバレッジ（段差被覆性）とは？良好にするための成膜方法も解説
本記事では、ステップカバレッジ（段差被覆性）に焦点を絞り解説します。用語そのものだけでなく、なぜカバレッジを気にする必要があるのかまで解説しておりますので、成膜の基礎を知りたい方はぜひご覧ください。 また、カバレッジを良好にするための方法についても解説しております。
酸化膜とは？特性や成膜方法、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。 酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知
金属膜とは？形成方法・分類・応用分野をわかりやすく解説
金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。 本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能
窒化膜とは？成膜方法や最新の技術、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。 そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。 窒化膜は特に半導
絶縁膜とは？使われる部品や成膜方法・種類・最新の技術動向までわかりやすく解説！
絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。 そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ
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