透明導電膜とは？主な種類や社会での活用例をわかりやすく解説
透明導電膜と聞いても、何に使われているかイメージがつきにくいですよね。しかし、意外と身近に使われているものなのです。 この記事を読めば、透明導電膜の主な種類から、身近な実用例まで具体的なイメージがつきます。専門用語を極力使用せず、噛み砕いて解説していますので、専門書が苦手な方もぜひご
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光学薄膜とは？成膜時に得られる効果と身近な例を解説！
本記事では、光学薄膜についてわかりやすく解説します。得られる効果から種類、身近に使われている例などを紹介しますので、専門書を読む前にご覧いただくと、理解が深まります。 聞き馴染みのない言葉かと思いますが、日常生活に欠かせない技術です。専門用語は噛み砕いて、わかりやすく解説しております
反応性スパッタリングとは？特性や使う場面、最新研究までわかりやすく解説
本記事では、反応性スパッタリングについて解説します。どのような場面で使われるかから、特性、近年の研究までわかりやすくお伝えします。また、記事の後半では実際に成膜した例と写真を掲載しておりますので、ぜひご覧ください。 今現在も活用されているスパッタリング法の一種ですので、薄膜に関心があ
スパッタ率とは？確認・計算方法と左右される原因を解説
スパッタリング法の勉強は専門的で大変ですよね。専門書は難しく、身近に専門家も少ない場合、学ぶのは難易度が高いと思います。 そこで本記事では、スパッタリング法で重要になるスパッタ率についてわかりやすく解説します。スパッタ率そのものの説明や、左右される原因、確認と計算方法についてもお
ステップカバレッジ（段差被覆性）とは？良好にするための成膜方法も解説
本記事では、ステップカバレッジ（段差被覆性）に焦点を絞り解説します。用語そのものだけでなく、なぜカバレッジを気にする必要があるのかまで解説しておりますので、成膜の基礎を知りたい方はぜひご覧ください。 また、カバレッジを良好にするための方法についても解説しております。
酸化膜とは？特性や成膜方法、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
本記事では、酸化膜の成膜方法や最新のニュース、成膜可能な装置までわかりやすく解説します。特に成膜方法については、代表的な方法とそれぞれのメリットについても触れているため、参考にしていただければ幸いです。 酸化膜は半導体分野において重要な役割を担っていますので、半導体分野について知
金属膜とは？形成方法・分類・応用分野をわかりやすく解説
金属膜は身近にありながら目にする機会はほぼなく、どういった特徴を持つのかわかりにくい薄膜かと思います。しかし、私たちの生活に欠かせない薄膜であることも事実です。 本記事では金属膜について理解を深めるため、わかりやすく解説します。形成方法から、一般的に使用されている金属膜、成膜可能
窒化膜とは？成膜方法や最新の技術、成膜可能な装置についてわかりやすく解説
窒化膜はシリコン窒化膜とも呼ばれ、半導体分野をはじめとした多くの分野で使用されています。しかし、日常的に耳にしない分イメージがつきにくいのも事実です。 そこで本記事では、窒化膜の特性や成膜方法、最新の技術動向から成膜可能な装置の紹介までわかりやすく解説します。 窒化膜は特に半導
絶縁膜とは？使われる部品や成膜方法・種類・最新の技術動向までわかりやすく解説！
絶縁膜はその名の通り電気的に絶縁するための膜です。しかし、普段耳にすることがない分イメージがつきにくいものだと思います。 そこで本記事では、絶縁膜についてわかりやすく解説します。特性や成膜方法、代表的な種類と、成膜可能な装置も紹介しますので、薄膜について関心をお持ちの方はぜひご覧くだ
スパッタリングターゲットの種類と活用例・選定のポイントを解説
「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」 「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」 スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。 そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。 ター
RFスパッタとは？原理やメリット、DCスパッタとの違いをわかりやすく解説
RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。 そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門
スパッタ成膜とは？基礎から課題、新技術への関連性まで詳しく解説
近年、スマートフォンやパソコンの普及により、半導体の需要が急増しました。その半導体の多くはスパッタ成膜という技術が使用されており、縁の下の力持ちとして活躍しています。 しかし、スパッタ成膜は専門性が高く理解が難しいこともあるでしょう。そこで今回は、スパッタ装置を製造する菅製作所がスパ
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