シェルック
3種類のタイプがあり、ホタテ養殖船、牡蠣養殖船及び小型定置船に採用
製品一覧
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SUS揚網機
オールステンレス製でサビに強い
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MyPEEM
サンプル表面の電子状態(仕事関数)をリアルタイムで2次元マッピング
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SSP2000Plus
2元カソードのスリムタワー、拡張可能型
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SSP2500G
グローブボックス搭載の2元カソードモデル、オートマッチャー標準搭載
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SSP3000
3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%
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SSP3000Plus
3元カソード、基板加熱MAX800℃、膜厚分布±3%、拡張可能型
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SAL3000
デポ方向、グローブボックス、ロードロック室の選択が可能
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SAL3000Plus
拡張可能型のALD、デポ方向選択可、基板加熱MAX800℃
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MMC-電磁クラッチ
主にカウンターやポンプユニットに使用、エンジンの回転力をポンプなどへ伝達
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エアークラッチ
主に主機前駆動装置に使用、エンジンの回転力を発電機などへ伝達
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SAN1000
基板への高温加熱処理(アニール)や不活性ガス導入による熱処理時の圧力コントロールが可能