SWE1000
スプレーによる噴霧で薬液・純水・窒素を導入、レシピ作成可能
製品一覧
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電磁ロータリーポンプバルブ
自社製造のアイソレーションバルブ、NW25とNW40に対応
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真空チャンバー
ステンレス、アルミどちらも製作可能です。詳細はお問合せください。
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JIS真空フランジ
自社で加工したJIS規格対応の真空フランジ、VG/VFがあります。
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真空継手
真空フランジにパイプや接手を溶接。特注品も製作します。
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汎用マイコン・汎用メモリへの書込みサービスです。
その他、出張書込みサービスや技術相談も行っております。
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装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。
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