真空装置一覧

スマートフォンや半導体、各種電子機器など、私たちの身の回りにある多くのハイテク製品には「薄膜」が活用されています。その薄膜を形成する技術の一つがスパッタ成膜です。しかし、「スパッタリングという言葉は聞いたことがあるものの、仕組みまではよく分からない」という方も多いのではない

最近、クリーンで環境にやさしい再生可能エネルギーとして「太陽エネルギー」が注目を集めています。太陽エネルギーは人類が消費するエネルギー量の一万倍とも言われており、効率的に活用すれば現代社会が抱えるエネルギー問題を一挙に解決する可能性を秘めているのです。ですが、太陽エネルギー

薄膜を形成するには、いくつかの種類が存在します。今回はその中の一つ、「CVD（化学気相成長法）」の原理や種類について説明します。薄膜の種類「CVD（化学気相成長法）」薄膜を形成するには下図のようにいくつか種類があります。薄膜の作り方詳細蒸着法真空にし

金属や樹脂の表面に極薄の膜を形成する「真空蒸着法」は、レンズのコーティングから半導体まで、現代の製造業を支える重要な技術です。しかしその仕組みや特徴を正しく理解している方は、意外と少ないのではないでしょうか。本記事では、真空蒸着法の基本原理をわかりやすく解説するとともに、抵

スパッタリングは、半導体や電子部品、光学製品など、さまざまな分野で活用されている重要な薄膜形成技術です。少し難しそうに感じるかもしれませんが、仕組み自体は身近な現象に置き換えることで理解しやすくなります。本記事では、スパッタリングの基本原理をはじめ、代表的な種類やそれぞれの特徴・弱

スパッタには多くの方式がありますが、今日はその中から「マグネトロンスパッタ」について紹介します。マグネトロンスパッタの原理やわかりやすい図解、成膜時のメリット・デメリットについても説明していきます。マグネトロンスパッタの原理マグネトロンスパッタは、2極法スパ

半導体製造において、CVDやALD、スパッタリングなど様々な成膜技術があり、違いがわからなかったり、どれを選ぶべきか迷っていたりしませんか？本記事では、代表的な成膜方法であるCVD、ALD、スパッタリングの原理や特徴、用途別の選び方をわかりやすく解説します。各手法のメリット

菅製作所の【Φ1mスペースチャンバー】の製品情報について航空宇宙産業は関連技術分野が広く、日本の技術が活きる産業です。その中でも超小型衛星の研究が進み、小型化や軽量化を図るための新素材、センサー、搭載機器などの開発技術がますます必要とされています。スペースチャンバーは衛星

光放出電子顕微鏡（MyPEEM）は、紫外光などの短波長の光を照射し、サンプルから放出される光電子を検出することで、サンプル表面の仕事関数をリアルタイムで可視化することができる顕微鏡です。主な用途として、薄膜の成長過程や触媒反応の動的過程の追跡など。ガスの吸着、脱離による表面

真空装置とは、真空の状態を利用した装置を指しており、目的に応じて真空システムを設定し作業をおこないます。昨今の産業の発展、そして様々な用途、研究においてなくてはならない装置の一つです。そこで、今回は真空装置を取り扱う菅製作所の真空装置8種類と、全17機をご紹介いたします。研

研究開発機器として幅広く使用されているスパッタ装置。スパッタ装置とは、イオン化させたArガスを高速でターゲットに衝突させ、衝突により叩き出されたターゲット原子が基板に付着するスパッタリング現象を利用したPVD方式の薄膜形成装置です。そんなスパッタ装置ですが、手

アニール装置は、基板への高温熱処理やガス置換、プラズマ処理加工が可能な装置です。スパッタ装置で成膜した後の膜質改善用途として非常に重要な役目を果たします。今回は、菅製作所が製造するアニール装置2種類を解説していきます。 1946年に漁船用機器の修理業で創業した菅製作所では真空装置・真

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