ALD（原子層堆積）とは？特徴・原理・装置を紹介。
現代の電子機器が小型化・高性能化を遂げる中で、半導体デバイスの微細加工技術はますます重要性を増しています。 その最前線で注目を集めるのが、原子層堆積（ALD）と呼ばれる革新的な薄膜形成技術です。ALDは、膜を原子1層ずつ積み重ねていくことで、従来の成膜技術では困難だった極めて精密で均
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真空度とは？定義・単位・測定方法について
私たちの身の回りには、意識せずとも多くの真空技術が活用されています。スマートフォンやパソコンの心臓部である半導体の製造から、食品のフリーズドライ、さらには最先端の科学実験まで、多岐にわたる分野で「真空」が重要な役割を担っているのです。 しかし、「真空」とは一体何でしょうか？そして、そ
ピラニ真空計とは？原理・構造・使い方について
真空技術が不可欠な現代産業において、真空度の正確な測定はプロセスの成否を左右します。中でも「ピラニ真空計」は、その手軽さと信頼性から多くの現場で活躍する主要な真空計です。 しかし、この計器がどのような原理で機能し、どのように読み取るべきかを深く理解していなければ、誤った判断からプロセ
真空バルブの仕組みとは？研究開発を加速する選定・運用方法を徹底解説
半導体製造、FPD（フラットパネルディスプレイ）製造、医療機器、分析機器、宇宙開発など、現代社会を支える最先端の研究開発や産業プロセスにおいて、真空技術は不可欠な基盤です。そして、その高性能な真空システムの中核を担うのが、真空バルブに他なりません。 真空バルブは、ガス流の精密な制御を
小型スパッタ装置とは？特徴・従来型との違いと活用事例について。
現代の科学技術の進歩において、薄膜作製技術は不可欠な役割を果たしています。 特に、スパッタリング技術は、高品質な薄膜を精密に作製できることから、研究開発や産業分野で広く利用されています。 しかし、従来の大型スパッタ装置は、設置場所やコスト、操作性などの面で課題がありました。そこ
粉体スパッタリングとは？：基礎原理から最新応用まで徹底解説粉体
従来の薄膜形成技術の常識を覆す、画期的な先端技術である粉体スパッタリングをご存知でしょうか。 この技術は、真空中でプラズマを生成し、その力を利用して、目に見えないほど微細な粉体の一粒一粒に、極めて薄い膜を均一に形成することを可能にします。 これにより、粉体材料に新たな機能を付与
アーキング現象とは？発生原因から防止策まで解説。
電気設備における予期せぬ放電現象であるアーキング（arcing）は、火災や機器故障など、深刻なトラブルを引き起こす可能性があります。 特に、半導体製造装置のように高電圧を扱う環境では、アーキング対策が不可欠です。 本記事では、アーキング現象の基本から、発生原因、火災リスク、具体
成膜とは：特徴・方法・装置の種類について解説。
私たちの身の回りにある多くの製品には、目に見えないほど薄い膜が施されています。 この薄膜を作る技術を「成膜」といいます。スマートフォンやパソコンのディスプレイ、自動車のボディなど、様々な製品に利用されている成膜について、詳しく解説していきます。 ナノメートルオーダーの薄膜を基板上に形成
蒸着とは：原理・仕組み・種類・用途を徹底解説。
コーティング加工は製品の機能性を高めたり、機能を長く保持させたりする役割を持っています。製品の外側・内側には多くのコーティング技術が使われています。そのなかの代表例が「蒸着」です。 この記事では、スパッタ装置をはじめとする成膜装置を製作する菅製作所が、成膜の基本である「蒸着」の基本的
ALD装置とは：特徴・原理・装置を紹介。
ナノの世界を自在に操る、ALD装置。 半導体デバイスがますます高性能化していく中、より微細な構造が求められています。ALD装置は、そんなニーズに応えるべく誕生しました。原子1層ずつ丁寧に膜を成長させることで、従来の技術では不可能だった高密度かつ均一な膜を実現。最先端技術を支える重要な装置です。
ターボ分子ポンプとは？特徴・原理・メリット・デメリットまで徹底解説。
あなたの身の回りにあるスマートフォンやパソコン。これらの高性能な半導体チップを作るためには、想像を超える高い真空度が必要なのです。その実現を支えているのが、「ターボ分子ポンプ」という装置です。この記事では、ターボ分子ポンプの仕組みからメリット・デメリット、そして私たちの生活への貢献まで、わ
透明導電膜とは？主な種類や社会での活用例をわかりやすく解説
透明導電膜と聞いても、何に使われているかイメージがつきにくいですよね。しかし、意外と身近に使われているものなのです。 この記事を読めば、透明導電膜の主な種類から、身近な実用例まで具体的なイメージがつきます。専門用語を極力使用せず、噛み砕いて解説していますので、専門書が苦手な方もぜひご
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