ALD(原子層堆積)とは?特徴・原理・装置を紹介。
現代の電子機器が小型化・高性能化を遂げる中で、半導体デバイスの微細加工技術はますます重要性を増しています。 その最前線で注目を集めるのが、原子層堆積(ALD)と呼ばれる革新的な薄膜形成技術です。ALDは、膜を原子1層ずつ積み重ねていくことで、従来の成膜技術では困難だった極めて精密で均
現代の電子機器が小型化・高性能化を遂げる中で、半導体デバイスの微細加工技術はますます重要性を増しています。 その最前線で注目を集めるのが、原子層堆積(ALD)と呼ばれる革新的な薄膜形成技術です。ALDは、膜を原子1層ずつ積み重ねていくことで、従来の成膜技術では困難だった極めて精密で均
私たちの身の回りには、意識せずとも多くの真空技術が活用されています。スマートフォンやパソコンの心臓部である半導体の製造から、食品のフリーズドライ、さらには最先端の科学実験まで、多岐にわたる分野で「真空」が重要な役割を担っているのです。 しかし、「真空」とは一体何でしょうか?そして、そ
真空技術が不可欠な現代産業において、真空度の正確な測定はプロセスの成否を左右します。中でも「ピラニ真空計」は、その手軽さと信頼性から多くの現場で活躍する主要な真空計です。 しかし、この計器がどのような原理で機能し、どのように読み取るべきかを深く理解していなければ、誤った判断からプロセ
半導体製造、FPD(フラットパネルディスプレイ)製造、医療機器、分析機器、宇宙開発など、現代社会を支える最先端の研究開発や産業プロセスにおいて、真空技術は不可欠な基盤です。そして、その高性能な真空システムの中核を担うのが、真空バルブに他なりません。 真空バルブは、ガス流の精密な制御を
現代の科学技術の進歩において、薄膜作製技術は不可欠な役割を果たしています。 特に、スパッタリング技術は、高品質な薄膜を精密に作製できることから、研究開発や産業分野で広く利用されています。 しかし、従来の大型スパッタ装置は、設置場所やコスト、操作性などの面で課題がありました。そこ
従来の薄膜形成技術の常識を覆す、画期的な先端技術である粉体スパッタリングをご存知でしょうか。 この技術は、真空中でプラズマを生成し、その力を利用して、目に見えないほど微細な粉体の一粒一粒に、極めて薄い膜を均一に形成することを可能にします。 これにより、粉体材料に新たな機能を付与
電気設備における予期せぬ放電現象であるアーキング(arcing)は、火災や機器故障など、深刻なトラブルを引き起こす可能性があります。 特に、半導体製造装置のように高電圧を扱う環境では、アーキング対策が不可欠です。 本記事では、アーキング現象の基本から、発生原因、火災リスク、具体
Atom energy icon on gray background, round shadow. Vector illustration. 私たちの身の回りにある電子機器や材料の多くは、その表面で起こる微細な電子の動きによって機能しています。その電子の動きを理解し、制御するために不可欠な
光電子顕微鏡(Photoemission Electron Microscopy:PEEM)は、材料研究において重要な役割を担う顕微分光技術の一つです。 放射光を励起光源として用いることで、試料表面から放出される光電子の空間分布を、100nm以下の高い空間分解能で直接的に可視化するこ
Color Drawing of Albert Einstein 光電子(こうでんし:photoelectron)とは、光電効果によって物質から放出される電子のことです。 光電効果とは、金属などの物質に光を照射した際に、電子が飛び出してくる現象です。この飛び出してくる電子を「光電子」と
金属は電気を通しやすく、ゴムは電気を通しにくい。 この違いを生み出す原因の一つが「伝導帯」です。 伝導帯とは、電子が自由に動き回れる場所のこと。 電子が伝導帯にいることで、電気が流れる仕組みを理解することができます。 この記事では、伝導帯の基本から、価電子帯
著者:ラース・ヘルダール博士/ Kagaku-analys AB ( 菅製作所 欧州代理店) 2024年11 月 6 ~8 日にフランス、トゥールーズで開催された会議についてのコメントと所見をレポートします。私たちは、本会議において菅製作所と共同でスポンサーとして参加しており、菅製作所のSP
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