密閉空間で試料表面の薬液エッチングができます。3個の噴射ノズル（薬液エッチング用・純粋洗浄用・N2乾燥用）を持ち、各噴霧時間と噴霧順序を任意に設定可能な、コンパクト卓上タイプの簡易ウェットエッチング装置です。

ドライエッチング装置までは導入できない場合や、研究開発の実験現場で簡易的にエッチング処理を行う場合に活躍します。 ウェットエッチング装置は主に酸化膜(SiO2)と窒化膜(SiN)を対象にしています。

• 薬液噴霧は試料中心直上から噴霧します。
• 洗浄水噴霧、N2噴射ノズルは角度調整が可能です。
• 少流量でも均一な噴霧分布を形成します。

菅製作所のウェットエッチング装置【SWE1000】の製品情報について

【特徴1】容器内部品の構成

容器内部品は耐酸性の高い樹脂・エラストマーで構成されています。取り扱いの難しい酸性の薬液でも侵されることがない素材を採用しました。

【特徴2】噴霧時間

薬液エッチング、純水洗浄、N2乾燥の各噴霧時間はタッチパネルの設定画面から1秒単位で設定することができます。

【特徴3】自動処理

各噴霧コマンドは最大6個まで入力でき、設定した順序で自動的に処理します。レシピを登録することにより繰り返しのエッチング作業でも安心して再現性よくお使い頂けます。

【特徴4】回転制御

試料は専用トレイに載せた状態で、100rpmまで回転制御できます。基板を回転させることによって噴霧される薬液や純水が基板表面を均一に広がります。

【特徴5】タッチパネル

試料回転数設定時間以外の制御はタッチパネルより行えます。

菅製作所のウェットエッチング装置【SWE1000】の標準仕様について

SWE1000仕様表

SWE1000仕様表外観図

菅製作所のウェットエッチング装置【SWE1000】の修理・改造について

弊社装置に関わる保守サービスは、北海道の本社及び静岡県の拠点から技術者を派遣して対応致します。

また、改造・保守に関わる事前お打合せについては北海道と関東地区に駐在している営業担当者にて対応致します。装置の導入後も安心して装置をご使用頂けるよう体制を整えております。

装置の御納入後の定められた保証期間内は、弊社が定める一定の条件(天災や誤った使用方法に起因する故障)に含まれない初期不良等の不具合に対しては無償による修理対応を行います。

サービスメニュー例

• 装置の定期メンテナンス、不具合時のサービス対応
• 装置の改造や機能追加、それらに伴うプログラムソフトの変更
• 装置の移設、レイアウト変更
• オペレーショントレーニング(ユーザー様の運用担当者の交代時など)
• 消耗品の購入
• メール、お電話等で解決するご質問