テスト成膜サービス

装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。

お客様がご来社の上、装置本体の説明を含むテスト成膜のコースと、サンプルをお預かりして弊社で成膜する方法の2通りの方法を選択できます。ご要望の条件によっては有償での成膜となりますので一度ご相談ください。

また、弊社装置の導入が前提ではないお客様に対しても有償で成膜を承ります。但し、処理量や膜質への保証について制限がございますのでご相談ください。

シリコンウェハ上の堆積(SiO2薄膜
シリコンウェハ上の堆積(SiO2薄膜

SiO2薄膜の膜厚見本(天井の模様など写真への写り込みあり)
SiO2薄膜の膜厚見本(天井の模様など写真への写り込みあり)

弊社所有のデモ機

装置名 型式 保有している成膜材料
スパッタ装置 SSP1000
  • 二酸化ケイ素(SiO2)
  • チタン(Ti)
  • ニッケル(Ni)
  • アルミ(AL)
  • 鉄(Fe)
ALD装置 SAL3000
SAL1000B
  • アルミナ(AL2O3)用 TMA
  • ハフニア(HfO2)用 TEMAH
  • チタニア(TiO2)用 TDMAT
  • ルテニウム(Ru)用 Ru(EtCp)2
アニール装置 SAN2000Plus 成膜前後のアニール処理
プラズマ処理用途

SAL1000Bは粉体成膜専用機ですが、事前にご連絡頂ければ基板成膜用のSAL1000相当の仕様にセッティングしてのデモ及びテスト成膜を実施することができます。

成膜材料やテストに必要な付帯設備で弊社が保有していないものに関しては、御支給または御購入での対応となります。段取りや費用負担等の詳細はお問い合わせください。

お問い合わせ先 ⇒ 弊社営業部 TEL:050-3734-0730