【新着動画】粉体成膜用ALD装置「SAL1000B」による銅粉末へのAl₂O₃コーティング実演

弊社YouTube公式チャンネルにて、粉体用ALD装置「SAL1000B」を使用した成膜プロセスの解説動画を公開いたしました。

今回の動画では、銅(Cu)粉末に対してアルミナ(Al₂O₃)を成膜する様子を、実際の装置操作を交えながら余すことなくお見せします。

【動画のポイント】

・装置への粉末セットアップからヒーター設定まで、成膜の準備プロセス
・ALD装置内で粉体が流動する様子(マニュアルモードでの貴重な映像)
・TMAとH₂Oガスを使用した正確なサイクル制御の仕組み

本動画を通じて、弊社の粉体成膜装置がどのように研究開発の現場で機能しているのか、その一端をご理解いただける内容となっております。次回の動画では、今回作成したサンプルの評価(浸水性・耐酸性試験など)も予定しております。

▼動画はこちらから

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株式会社菅製作所