菅製作所の公式YouTubeチャンネルにて、最新動画を公開いたしました！
ALD装置は原子レベルでの精密な成膜が可能ですが、その高いパフォーマンスを維持するためには定期的なメンテナンスや予防保全が欠かせません。
今回の動画では、研究者や技術者の方々から多く寄せられるトラブルや疑問について、原因の切り分け方を含めて解説しています。
【今回の見どころ】
- ALD装置におけるメンテナンスの重要性と、怠った場合に発生するトラブル
- 到達真空度が低下する主な原因（真空計、チャンバー内の汚れ、排気配管の閉塞など）
- 成膜の面内分布悪化やプロセスが進まない時の原因と対策
- 特に重点的にチェック・メンテナンスすべき7つの部位
- 日常点検と定期メンテナンスのポイント
- メンテナンス性の高い装置の選び方
装置のダウンタイムを防ぎ、長く安定してご使用いただくための参考としてご活用ください。
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