菅製作所の公式YouTubeチャンネルにて、新しい動画を公開しました！
今回は、スパッタ装置で見られるプラズマの発光色に注目し、色が変わる仕組みや、装置の状態を読み取るためのポイントを解説します。
アルゴンやチタン、窒素によって異なるプラズマの色。なぜ色が変わるのかを、電子のエネルギー準位や光の波長との関係から掘り下げます。また、発光色の変化から大気リークやターゲット交換など、装置の状態を把握するための現場ノウハウも紹介します。
【今回の見どころ】
- アルゴン・チタン・窒素でプラズマの発光色が異なる理由
- 電子のエネルギー準位と光の波長・色の関係
- プラズマの発光色から読み取る装置の状態や異常のサイン
- 発光色の変化を装置管理や異常検知に活用する方法
プラズマの発光色を理解することで、成膜中の状態変化に気づく手がかりが得られます。スパッタリングや成膜装置にご興味のある方は、ぜひ動画をご覧ください！
