本動画では、半導体製造や薄膜成膜技術においてキーファクターとなる“プリカーサ(前駆体)”に焦点を当て、その役割・特性・種類を丁寧に解説しています。
<この動画で分かること>
・原子層堆積(ALD)におけるプリカーサ(前駆体)の持つ特性(反応性、揮発性、安定性など)
・代表的なプリカーサ(前駆体)の種類およびそれぞれの用途・適用例
・当社が扱うプリカーサ(前駆体)・成膜プロセスでの工夫と実績
装置導入をご検討中の技術部門の皆さま、成膜プロセスの理解を深めたい研究者・技術者の皆さま、また学生の方々にも、プリカーサ(前駆体)に関する基礎から応用までを分かりやすく学べる内容です。
ぜひご視聴いただき、技術検討やプロセス設計のヒントとしてご活用ください。
こちらのブログ「ALD(原子層堆積法)のプリカーサ(前駆体)とは?」も合わせてご覧ください。
今後とも当社は、ALD成膜技術および関連プリカーサ(前駆体)/材料に関する有益な解説コンテンツを発信してまいります。どうぞご期待ください。






