半導体製造のキーパーツである「真空チャンバー」について、仕組みや選び方を分かりやすく解説した動画を公開しました！
ナノレベルの超精密加工を行う半導体分野では、空気中の微細なホコリや水分を排除する真空環境が欠かせません。動画内では、なぜ真空が必要なのかという基本から、高真空を維持する構造、選定時の重要ポイントまで詳しく紐解いています。
【今回の見どころ】
- 真空チャンバーの役割：CVD・スパッタ・エッチング・EUV露光等での活用例
- 高真空を保つ仕組み：Oリングや金属ガスケットによるシール構造の違い
- 選定の5つのポイント：到達真空度／気密性／耐久性／寸法／材質（ステンレス・アルミ等）
菅製作所では、ステンレス・アルミ双方の真空チャンバーの設計・製造を承っております。研究開発や設備導入のご相談はお気軽にお問い合わせください。
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