菅製作所の公式YouTubeチャンネルにて、最新動画を公開いたしました！

今回は、菅製作所のキュービックスパッタ装置「SSP1000」を使用して、アルミナ粉末へのチタンのスパッタリング成膜を行う実験をご紹介します。

通常の成膜では、ウエハーなどの基板を固定して成膜しますが、粉体への成膜では、粉末を均一に動かしながら処理することが重要です。

今回の実験では、粉体を入れたシャーレを斜めに回転させながら、ノッキング機構やバイブレーション機構によって粉体を流動させ、チタンを成膜します。

実際の成膜工程を通して、真空引きからプリスパッタ、30分間の成膜、成膜後の粉体の確認まで、一連の様子をご紹介しています。

【今回の見どころ】

• SSP1000を使用したアルミナ粉末へのチタン成膜
• 粉体を流動させるノッキング・バイブレーション機構
• 真空引きからプリスパッタ、成膜までの工程
• 30分間の成膜による粉体の変化
• 成膜前後の粉体の比較と回収率
• 粉体専用スパッタリングシステム「SSP1500B」の紹介

今回の実験では、9.00gのアルミナ粉末に30分間チタンを成膜し、ムラの少ない金属光沢のある粉体を得ることができました。

また、この実験で検討を重ねた回転・攪拌・振動機構を搭載し、粉体への成膜をより簡単に行えるようにした粉体専用スパッタリングシステム「SSP1500B」もご紹介しています。

粉体へのスパッタリング成膜に興味をお持ちの方や、粉体用の成膜装置をご検討の方は、ぜひ動画をご覧ください。

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