【新着動画】スパッタ装置の電源の基本！これであなたもスパッタマスター
菅製作所のYouTubeチャンネルにて、新作動画「スパッタ装置の電源の基本！これであなたもスパッタマスター」を公開しました。本動画では、スパッタ装置に欠かせない「電源」の役割と種類について、初心者の方にもわかりやすく解説しています。 「DCとRFの違いは？」「どの材料にどの電源が適しているの
仕事の学び 一覧
【新着動画】酸化シリコン失敗成膜大公開！失敗から学ぶ原因と修正点
菅製作所のYouTubeチャンネルにて、「酸化シリコン失敗成膜大公開！失敗から学ぶ原因と修正点」と題した新作技術解説動画を公開いたしました。 本動画では、当社のスパッタリング装置による酸化シリコン（SiO₂）成膜プロセスにおいて、実際に発生した失敗事例を通じて、失敗の原因とそこから得られる教
【新着動画】真空装置の「オイルバック」を防ぐ！電磁ロータリーポンプバルブ
この度、菅製作所のYouTubeチャンネルに、真空システムの安全を守る電磁ロータリーポンプバルブの解説動画を公開しました。 高価な真空チャンバーや研究結果に悪影響を及ぼす「オイルバック」（ポンプの潤滑油逆流）現象。特に停電時には発生リスクが高まります。 この動画では、当社の電磁ロータリ
【YouTube更新】スパッタ成膜タイムアタック ～酸化シリコン最高レートへの挑戦～
酸化シリコン（SiO₂）成膜の“実際にかかる時間”を計測する「成膜タイムアタック」動画を公開しました。今回の動画では、当社製スパッタ装置「SSP1000キュービックスパッタ装置」を使用し、成膜開始から終了までの一連の流れをご紹介しています。チャンバーの真空引き、出力調整、成膜、ベント、基板取り出し
ALD（原子層堆積）の歴史｜半導体技術進化を支えた精密成膜の軌跡
現代のデジタル社会を支える半導体デバイスの進化は、精密な薄膜技術によって推進されてきました。 中でもALD（原子層堆積）は、原子レベルで膜を積み重ねる画期的な手法として、最先端デバイス製造に不可欠です。 本記事では、この精密成膜技術がフィンランドでの誕生から、半導体産業への本格
ALD（原子層堆積法）のプリカーサ（前駆体）とは？
「ALD（原子層堆積法）について調べているけれど、「プリカーサ」という言葉の意味がよくわからない…」「ALDで高品質な薄膜を作るために、プリカーサがなぜ重要なのか知りたい」 もしあなたがそうお考えなら、この記事がその疑問にお答えします。 ALD装置の導入実績が豊富な菅製作所が、
ALD（原子層堆積）の「面内分布」徹底解説：原理・重要性・課題
現代社会を支える半導体デバイスは、さらなる高性能化と微細化が求められています。その中で、原子レベルで極めて精密な薄膜を形成するALD（原子層堆積法）は、半導体製造において非常に重要な技術として注目されています。ALD技術の真価を発揮するために不可欠なのが、「面内分布」という概念です。
【YouTube更新】スパッタ装置のよくあるトラブルと対策について解説します！
スパッタ装置を使用する中で発生しやすいトラブルと、その対処方法について解説した動画を公開しました。 真空が引けない、膜厚が安定しない、アークが頻発するなど、現場でよく耳にする課題について、実際の事例を交えながらわかりやすく説明しています。 初心者の方から、より安定した運用を目指すご担当
ALD（原子層堆積）とは？特徴・原理・半導体製造における役割・装置を紹介。
現代の電子機器が小型化・高性能化を遂げる中で、半導体デバイスの微細加工技術はますます重要性を増しています。 その最前線で注目を集めるのが、原子層堆積（ALD）と呼ばれる革新的な薄膜形成技術です。ALDは、膜を原子1層ずつ積み重ねていくことで、従来の成膜技術では困難だった極めて精密で均
ALD装置のトラブル解決！よくあるトラブルと対策を解説した動画を公開しました
いつも菅製作所のウェブサイトをご覧いただき、誠にありがとうございます。この度、ALD装置をご利用のお客様からよくお問い合わせいただくトラブルとその対策について、詳しく解説した動画を公開いたしました。動画では、以下の主要なトラブルと、それぞれの具体的な解決策をご紹介しております。 【到達真空度
真空度とは？定義・単位・測定方法について
私たちの身の回りには、意識せずとも多くの真空技術が活用されています。スマートフォンやパソコンの心臓部である半導体の製造から、食品のフリーズドライ、さらには最先端の科学実験まで、多岐にわたる分野で「真空」が重要な役割を担っているのです。 しかし、「真空」とは一体何でしょうか？そして、そ
ピラニ真空計とは？原理・構造・使い方について
真空技術が不可欠な現代産業において、真空度の正確な測定はプロセスの成否を左右します。中でも「ピラニ真空計」は、その手軽さと信頼性から多くの現場で活躍する主要な真空計です。 しかし、この計器がどのような原理で機能し、どのように読み取るべきかを深く理解していなければ、誤った判断からプロセ
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