スパッタリングターゲットの種類と活用例・選定のポイントを解説
「スパッタリングターゲットの種類が知りたい」 「専門用語が多すぎてイメージがつきにくい」 スパッタ装置を使用し始めると上記のような疑問が沸きます。 そこで今回は、スパッタ装置の製造メーカーである菅製作所が、スパッタリングターゲットについて詳しく解説します。 ター
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RFスパッタとは？原理やメリット、DCスパッタとの違いをわかりやすく解説
RFスパッタは絶縁膜（電気を通さない）が成膜可能な画期的なスパッタリング法です。しかし、原理やメリット、DCスパッタとの違いなどは専門用語が多く理解が難しい場合があります。 そこで今回は、スパッタ装置を製造するメーカー「菅製作所」がRFスパッタについてわかりやすく解説します。専門
成膜装置の基本と代表的な種類！独自の成膜装置も紹介
「成膜装置ってどんなプロセスで成膜しているの？」 「種類があると聞いて、それぞれの違いが具体的に知りたい」 成膜装置は専門性の高い装置で、不明な点も多いかと思います。 そこで今回は成膜装置を製作する菅製作所が、成膜装置の基本的な解説や種類、具体的な装置をわかりやすくお伝え
スパッタ成膜とは？基礎から課題、新技術への関連性まで詳しく解説
近年、スマートフォンやパソコンの普及により、半導体の需要が急増しました。その半導体の多くはスパッタ成膜という技術が使用されており、縁の下の力持ちとして活躍しています。 しかし、スパッタ成膜は専門性が高く理解が難しいこともあるでしょう。そこで今回は、スパッタ装置を製造する菅製作所がスパ
未来のテクノロジーを切り拓く「2nm」の秘密！2nmプロセスの課題と展望
近年注目を浴びている2nmプロセス。IBMとラピダスがパートナーシップを締結したことで、国内でも話題になりました。 しかし、新技術かつ専門的な内容で理解が難しいジャンルでもあります。 そこで今回は、半導体分野の知見を多く持つ菅製作所が、2nmプロセスについてわかりやすく解説しま
酸化チタン（チタニア）とは？製法から身近な使用例まで解説
「酸化チタンってどんな化合物なの？」「何に使われているのかいまいちわからない」 上記のような疑問をよく耳にします。確かに、酸化チタンは他の化合物に比べ意識しないと目につかない化合物なため、詳しく知らない方が多いのが現状です。 そこで今回はチタニアとも呼ばれる酸化チタンについて解
酸化アルミニウム（アルミナ）とは？特徴と性質、身近な使用例を解説します
酸化アルミニウムは授業などで学ぶことは多いものの、実際に社会で何に使われているかは知らない方も多い化合物です。 そこで今回は、酸化アルミニウムの性質と特徴について解説した後、イメージしやすいよう身近で使われているものも紹介します。 ひょっとすると、あなたのすぐ側にも酸化アルミニ
菅製作所のスパッタ装置を導入した事例紹介【北海道大学 大学院情報科学研究院 ナノエレク…
今回は、菅製作所のスパッタ装置を導入している、北海道大学大学院情報科学研究院 ナノエレクトロニクス研究室 教授 末岡 和久（すえおか かずひさ）氏にお話を伺いました。 末岡教授は、スパッタ装置をエレクトロニクス分野や材料表面の物性の研究などのために導入され、現在では大学生との研究や別
酸化ハフニウム（ハフニア）とは？身近で使われている例も解説
今回は酸化ハフニウムについて解説します。聞き馴染みの無い化合物かもしれませんが、意外と身近なものにも使われているので、ぜひご覧ください。 特に強誘電体メモリという種類のメモリがキーワードになってきますので、一緒に紐解いていきましょう。 酸化ハフニウム（ハフニア）とは
トリメチルアルミニウムとは？注意点や社会での活用方法を解説
トリメチルアルミニウムとは？注意点や社会での活用方法を解説 トリメチルアルミニウムは、日常的にはあまり耳にしない化合物ですが、実は身近な製品の原料として使用されています。この記事では、トリメチルアルミニウムの特徴と、社会での活用方法をわかりやすく解説します。実験や授業の理解を深め
化学電池とは？3つの種類と仕組み、メリット・デメリットを解説
電池には化学電池と物理電池の2種類があります。今回解説するのは「化学電池」です。意外と身近にあり、これからの時代の鍵となる電池でもあります。 しかし、専門書などを読むと難しい化学式や言葉が多く、理解が難しいと思います。そこで今回は、普段から原子レベルで加工する機材を製造する菅製作所が
⑤SPS焼結の応用事例について
SPS焼結の具体的な応用事例についてご紹介します！ 応用事例紹介 ～ 株式会社菅製作所 ～ 短時間焼結、均質焼結、微細構造制御、温度傾斜焼結等様々な特長を持ったSPS焼結法ですが、そんなSPS焼結の具体的な応用事例についてご紹介したいと思います。従来焼結法との比較、微細構造制御
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