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【一覧】真空装置の種類は5つ!人気のおすすめ10選も紹介

真空装置は研究開発用途として多く使われており、その中でも種類によって使用方法は変わります。 今回は、真空装置の種類5つと、その中から厳選した真空装置10台をご紹介します。 1946年に創業した菅製作所は、自社製スパッタ装置の販売、大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げております。そんな菅製作所

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TS距離って何?

TS距離って何? スパッタリング成膜を行っていると“TS距離”という言葉をよく聞きますが、そもそもTS距離って何?という方も多いのではないでしょうか? TS距離とはTarget(ターゲット) – Substrate(サブストレイト)間距離の略で成膜する物質側のTarget(ター

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スパッタ成膜時の基板温度計測

スパッタ成膜と基板温度の関係 スパッタリング成膜の際、成膜される基板も加熱されてしまうのはご存じでしょうか? スパッタリングはAr等の不活性ガスで満たされた空間で、ターゲット材料に高電圧をかけ放電することでArが原子化しターゲットに衝突、それにより原子がはき出され、対向基板

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スパッタ装置とは?菅製作所SSP3000Plusの性能や特徴を紹介

スパッタ装置は、真空薄膜形成のカテゴリの中では物理蒸着法(PVD)に分類されるスパッタリング法を用いた成膜装置です。 スパッタ装置により生成される薄膜は、基板への優れた密着性、繰返し成膜する時の高い再現性、高融点材料や合金も作れる特徴を有しており、半導体や電子デバイスをはじめ機能性材

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スパッタ装置とは?菅製作所SSP3000の性能や特徴を紹介

スパッタ装置は、真空薄膜形成のカテゴリの中では物理蒸着法(PVD)に分類されるスパッタリング法を用いた成膜装置です。 スパッタ装置により生成される薄膜は、基板への優れた密着性、繰返し成膜する時の高い再現性、高融点材料や合金も作れる特徴を有しており、半導体や電子デバイスをはじめ機能性材

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物理蒸着法(PVD)の、スパッタ装置とは?菅製作所SSP2500Gの性能や特徴を紹介

スパッタ装置は、真空薄膜形成のカテゴリの中では物理蒸着法(PVD)に分類されるスパッタリング法を用いた成膜装置です。 スパッタ装置により生成される薄膜は、基板への優れた密着性、繰返し成膜する時の高い再現性、高融点材料や合金も作れる特徴を有しており、半導体や電子デバイスをはじ

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金属膜、絶縁膜はもちろん、酸化膜、窒化膜を生成するスパッタ装置とは?菅製作所SSP20…

スパッタ装置は、真空薄膜形成のカテゴリの中では物理蒸着法(PVD)に分類されるスパッタリング法を用いた成膜装置です。 スパッタ装置により生成される薄膜は、基板への優れた密着性、繰返し成膜する時の高い再現性、高融点材料や合金も作れる特徴を有しており、半導体や電子デバイスをはじ

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小型の物理蒸着法(PVD)のスパッタ装置とは?菅製作所SSP1000の性能や特徴を紹介

スパッタ装置は、真空薄膜形成のカテゴリの中では物理蒸着法(PVD)に分類されるスパッタリング法を用いた成膜装置です。 スパッタ装置により生成される薄膜は、基板への優れた密着性、繰返し成膜する時の高い再現性、高融点材料や合金も作れる特徴を有しており、半導体や電子デ

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スパッタ装置とは?スパッタ装置製造メーカーAGUSがスパッタの基本の㋖を解説!

1946年に創業した菅製作所は、約半世紀もの間、漁業用船舶機器の製造販売および漁船向けの動力伝達用クラッチシステムを中心に、油圧機器、漁労機器などの船舶用機器を提供してまいりました。 2000年には自社製スパッタ装置の販売を開始し、現在は大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げております

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放電プラズマ焼結法の特長について

放電プラズマ焼結法の特長について解説します! 技術解説 ~ ㈱AGUS 新規事業開発室より ~ SPS焼結法は次の構造・加熱機構の特徴を有しています。① 熱と圧力を同時に加える加圧焼結であること、② 型あるいは材料粉末に大電流を直接通電すること、③ ON/OFFパルス通電であること、④ 大電流に

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船の燃料って何を使っているの?

前回の記事で車のエンジンと船のエンジンを紹介しました。 今回は、エンジンを動かすための燃料について解説していきます!! 船のエンジンの燃料と車のエンジンの燃料は同じ燃料? 船のエンジンの燃料と車のエンジンの燃料は、原料は一緒でも種類が違います! 原料は、皆さんご存じの石油

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船のエンジンってどんなもの?車と船のエンジンの違いを解説!

この記事で5回目になる船シリーズ。今回と次回の2回で船のエンジンとその燃料についてお伝えしたいと思います! 車と船のエンジンの違いは? 私達が普段乗っている車、エンジンはボンネットの中に入っています。 ボンネットの中に入っているエンジンは、私達がアクセルを踏む加減で回転し力

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